精巧型真空腔體測(cè)試腔主要用于氣體敏感材料或其他對(duì)環(huán)境敏感性材料中的電信號(hào)測(cè)試。測(cè)試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺(tái),臺(tái)面為φ30,臺(tái)面*可升溫到*400℃。臺(tái)面四周裝有微型3軸可移動(dòng)鎢鋼探針,特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測(cè)試。
該腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口其真空度用機(jī)械泵可達(dá)<5Pa分子泵可達(dá)<-3Pa。真空信號(hào)連接處使用軍工級(jí)別真空電極信號(hào)接頭,保證氣密性及抗干擾性能。使用時(shí)將需將待檢測(cè)的器件方在加熱臺(tái)面,探針*處由3軸可移動(dòng)探針手動(dòng)調(diào)節(jié)移動(dòng)至被測(cè)試器件的引腳處,外部信號(hào)線連接測(cè)試儀器來(lái)測(cè)試電學(xué)信號(hào)。
溫控器
加熱溫度
35-350℃
溫控誤差
±1℃
熱電偶類(lèi)型
PT100高精度傳感器
溫控表
宇電溫控器
程序控溫
1段(可選30段程序控溫表)
加熱功率
≤300W
加熱電源
AC220v
尺寸
230x230x125MM
重量
6kg
真空探針熱臺(tái)
腔體材質(zhì)
304不銹鋼
加工方式
一體式CNC精加工
內(nèi)腔體尺寸
137X57X21mm 容積165ML
加熱臺(tái)尺寸
Φ30mm
觀察窗內(nèi)徑
Φ46mm
觀察窗材質(zhì)
高透光石英玻璃
400℃
注意:熱臺(tái)溫度和樣品溫度存在偏差 客戶(hù)可用PT100熱電阻貼在和樣品接近的樣品臺(tái)面測(cè)量熱電阻值對(duì)應(yīng)分度值做校準(zhǔn)。
信號(hào)輸出頭
SMA母頭 配線 SMA轉(zhuǎn)BNC 1.5米
電學(xué)性能
絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 500V
抽氣口
KF16
進(jìn)氣口
6MM卡套
使用正壓
≤O.05MPa
使用負(fù)壓
機(jī)械泵可獲得真空≤10Pa 分子泵可獲得真空≤10 -3 Pa
φ45
移動(dòng)探針
探針規(guī)格
探針粗Φ0.5mm 探針尖 10μm
上下移動(dòng)距離
2mm
前后移動(dòng)距離
20mm
左右旋轉(zhuǎn)距離
120°
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精巧型真空腔體測(cè)試腔主要用于氣體敏感材料或其他對(duì)環(huán)境敏感性材料中的電信號(hào)測(cè)試。測(cè)試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺(tái),臺(tái)面為φ30,臺(tái)面*可升溫到*400℃。臺(tái)面四周裝有微型3軸可移動(dòng)鎢鋼探針,特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測(cè)試。
該腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口其真空度用機(jī)械泵可達(dá)<5Pa分子泵可達(dá)<-3Pa。真空信號(hào)連接處使用軍工級(jí)別真空電極信號(hào)接頭,保證氣密性及抗干擾性能。使用時(shí)將需將待檢測(cè)的器件方在加熱臺(tái)面,探針*處由3軸可移動(dòng)探針手動(dòng)調(diào)節(jié)移動(dòng)至被測(cè)試器件的引腳處,外部信號(hào)線連接測(cè)試儀器來(lái)測(cè)試電學(xué)信號(hào)。
溫控器
加熱溫度
35-350℃
溫控誤差
±1℃
熱電偶類(lèi)型
PT100高精度傳感器
溫控表
宇電溫控器
程序控溫
1段(可選30段程序控溫表)
加熱功率
≤300W
加熱電源
AC220v
尺寸
230x230x125MM
重量
6kg
真空探針熱臺(tái)
腔體材質(zhì)
304不銹鋼
加工方式
一體式CNC精加工
內(nèi)腔體尺寸
137X57X21mm 容積165ML
加熱臺(tái)尺寸
Φ30mm
觀察窗內(nèi)徑
Φ46mm
觀察窗材質(zhì)
高透光石英玻璃
加熱溫度
400℃
注意:熱臺(tái)溫度和樣品溫度存在偏差 客戶(hù)可用PT100熱電阻貼在和樣品接近的樣品臺(tái)面測(cè)量熱電阻值對(duì)應(yīng)分度值做校準(zhǔn)。
信號(hào)輸出頭
SMA母頭 配線 SMA轉(zhuǎn)BNC 1.5米
電學(xué)性能
絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 500V
抽氣口
KF16
進(jìn)氣口
6MM卡套
使用正壓
≤O.05MPa
使用負(fù)壓
機(jī)械泵可獲得真空≤10Pa 分子泵可獲得真空≤10 -3 Pa
觀察窗內(nèi)徑
φ45
移動(dòng)探針
探針規(guī)格
探針粗Φ0.5mm 探針尖 10μm
上下移動(dòng)距離
2mm
前后移動(dòng)距離
20mm
左右旋轉(zhuǎn)距離
120°