高溫質(zhì)量流量控制器，可用于流量控制為 120°C、斷電時* 150°C 的環(huán)境。

通過將高溫氣體接觸部分與熱敏基板部分分離，可以控制高溫下的氣體。

塊體采用 SUS-316L，密封材料采用 Au 處理腐蝕性氣體。

此外，還可以選擇防止液化氣體再液化的低壓差規(guī)格和加熱氣體部件的 MFC 加熱塊。

高溫質(zhì)量流量控制器 [MC-3000L-TC] 產(chǎn)品圖片高溫質(zhì)量流量控制器
[MC-3000L-TC]

長處

  • 工作溫度：* 120°C
  • 金屬密封件
  • 清潔（保證顆粒）
  • RS-485 通信

選擇

  • 與液化氣兼容
  • 加熱塊

使用示例

液化氣、升華氣體流量控制

CVD 和 ALD 源氣體不一定是室溫和壓力下的氣體。 液體或固體原料通常在室溫和壓力下使用。 液體和固體在室溫下產(chǎn)生的氣體較少，并且使用壓差流動氣體的 MFC 難以控制流速。 因此，原料罐被加熱并增加蒸汽壓以產(chǎn)生壓差，以確保 MFC 的工作壓力。 MC-3000L-TC 能夠進行高溫控制和低壓差工作壓力，是液化和升華氣體流量控制的理想選擇。

規(guī)格表

溫度 *小壓差 *壓差 精度 控制范圍 *低 F.S. 馬克斯 FS 密封
低 80~100°C 50kPa
 300kPa ±1%F.S. 2~*滿量程 10單片機CM 25SLM 金
高 100~120°C
50kPa
 300kPa ±1%F.S. 2~*滿量程 10單片機CM 25SLM 金

* 規(guī)格表是具有一般規(guī)格的質(zhì)量流量控制器。 可以通過 options 進行更改。