高溫燃?xì)饧訜崞?[HX-0301L]

一種高溫氣體加熱器，能夠以緊湊的設(shè)計(jì)將 N2 等效于 250SLM 加熱到* 300°C。

長(zhǎng)處

• 高度為 240 mm×寬度為 101 mm×寬度為 75 mm 的緊湊設(shè)計(jì)
• 流量高達(dá) 250 SLM
• *工作溫度：300°C
• 兩個(gè)單元可并聯(lián)在 300°C 和 500 SLM 下使用
• 設(shè)定溫度與出口氣體溫度差異小的設(shè)計(jì)

高溫燃?xì)饧訜崞?br /> [HX-0301L]

使用示例

晶圓翹曲校正

晶圓可能會(huì)因分層沉積而翹曲。 其中一種對(duì)策是用高溫和高流量的熱空氣校正翹曲。 高溫燃?xì)饧訜崞?（HX-0301） 可通過(guò)兩臺(tái)并聯(lián)產(chǎn)生 300°C 和 500SLM 的高溫大流量，非常適合矯正翹曲。

規(guī)格表

	流速（N2 當(dāng)量）	壓降 （N2）	耐壓 （G）	工作溫度	氣體接觸材料
規(guī)范	250SLM	94 kPa	1MPa	300°C	SUS316L