特點(diǎn)用途
◆本型產(chǎn)品采用標(biāo)準(zhǔn)的MEMS工藝設(shè)計(jì)制造的硅力敏感片
◆適用于對(duì)硅、玻璃、不銹鋼及密封膠不腐蝕無(wú)導(dǎo)電的氣體介
質(zhì)的差壓測(cè)量。
◆無(wú)應(yīng)力封裝，具有優(yōu)良的穩(wěn)定性
◆小量程可低至200Pa
測(cè)量介質(zhì)： 適用于非腐蝕性、非導(dǎo)電性氣體介質(zhì)的差壓測(cè)量
壓力量程： 0～±16～±25～±100～±160～±400～±1000kpa
過(guò)載能力： 300%FS （大于20kPa為200%FS）
承受靜壓：100kPa（大于20kPa為1Mpa）
介質(zhì)溫度： -25℃～85℃
補(bǔ)償溫度： -10℃～60℃
精 度： 0.1% 0.25% 0.5%
零位及靈敏度溫度系數(shù)： JB級(jí)1 10-4/℃.FS JA級(jí)2 10-4/℃.FS M級(jí)3 10-4/℃.FS
零位時(shí)漂穩(wěn)定性： JB級(jí)0.1%FS JA級(jí)0.2%FS M級(jí)0.25%FS
壓力接口： M10×1、74o錐角，管接咀Φ7mm，M20×1.5，兩端出口；扣壓式Φ6mm，同側(cè)出口
出線方式： 航插、霍斯曼、電纜鎖頭直出線三種可選
供電輸出方式： 4～20mA/24VDC或0～5V/15VDC（其它信號(hào)及電源可特訂）