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海德漢的敞開(kāi)式光柵尺與掃描頭和光柵尺或鋼帶尺間沒(méi)有機(jī)械接觸。這些光柵尺的典型應(yīng)用包括測(cè)量機(jī)、比較儀和其它長(zhǎng)度計(jì)量精密設(shè)備以及生產(chǎn)和測(cè)量設(shè)備,例如用在半導(dǎo)體工業(yè)中。
產(chǎn)品特點(diǎn)
* 精度可達(dá)±0.5um或更高
* 測(cè)量步距可達(dá)0.001um(1nm)
* 測(cè)量長(zhǎng)度可達(dá)30m
* 掃描頭和光柵尺間無(wú)磨擦
* 尺寸緊湊、重量輕
* 移動(dòng)速度高