電容式位移傳感器ZNXsensor測(cè)量顯微鏡移動(dòng)平臺(tái)的微量位移
無(wú)論是生物工程中的細(xì)胞操作、集成電路或光電子器件的加工還是采用電子顯微鏡進(jìn)行納米操作盡管其精度要求各不相同但在硬件裝備中均有一項(xiàng)共性的關(guān)鍵技術(shù)那就是要解決載物臺(tái)或其相應(yīng)設(shè)備的高精度的自動(dòng)測(cè)量和定位。要實(shí)現(xiàn)這項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)高精度控制系統(tǒng)是非常重要的。搭建了一種閉環(huán)控制系統(tǒng)用于控制某特性顯微鏡工作臺(tái)。傳感器的使用是閉環(huán)控制中必不可少的一環(huán)，電容式位移傳感器的精度決定著系統(tǒng)的精度。
顯微鏡移動(dòng)臺(tái)在移動(dòng)停止后會(huì)有一定的反彈，平臺(tái)移動(dòng)的的位移量有幾毫米，但反彈量很微小，但反彈量決定了平臺(tái)的移動(dòng)精度?？梢允褂秒姕u流傳感器測(cè)量平臺(tái)的較大范圍的移動(dòng)，使用ZNXsensor電容式位移傳感器測(cè)量反彈的微小位移。
ZNXsensor電容式位移傳感器是一種非接觸式的電容式位移傳感器；兩個(gè)傳感器板形成一個(gè)平行板電容器，每個(gè)傳感器可用在兩個(gè)不同的測(cè)量范圍；納米分辨率；零磁滯。
詳情請(qǐng)?jiān)L問(wèn)：
http://www.51sensors.com/prod_detail_792.html
http://www.51sensors.com
深圳市真尚有科技有限公司
電話： / 26528011/26528012
傳真：/26435640
其他推薦產(chǎn)品
首頁(yè)| 關(guān)于我們| 聯(lián)系我們| 友情鏈接| 廣告服務(wù)| 會(huì)員服務(wù)| 付款方式| 意見(jiàn)反饋| 法律聲明| 服務(wù)條款
電容式位移傳感器ZNXsensor測(cè)量顯微鏡移動(dòng)平臺(tái)的微量位移
無(wú)論是生物工程中的細(xì)胞操作、集成電路或光電子器件的加工還是采用電子顯微鏡進(jìn)行納米操作盡管其精度要求各不相同但在硬件裝備中均有一項(xiàng)共性的關(guān)鍵技術(shù)那就是要解決載物臺(tái)或其相應(yīng)設(shè)備的高精度的自動(dòng)測(cè)量和定位。要實(shí)現(xiàn)這項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)高精度控制系統(tǒng)是非常重要的。搭建了一種閉環(huán)控制系統(tǒng)用于控制某特性顯微鏡工作臺(tái)。傳感器的使用是閉環(huán)控制中必不可少的一環(huán)，電容式位移傳感器的精度決定著系統(tǒng)的精度。
顯微鏡移動(dòng)臺(tái)在移動(dòng)停止后會(huì)有一定的反彈，平臺(tái)移動(dòng)的的位移量有幾毫米，但反彈量很微小，但反彈量決定了平臺(tái)的移動(dòng)精度?？梢允褂秒姕u流傳感器測(cè)量平臺(tái)的較大范圍的移動(dòng)，使用ZNXsensor電容式位移傳感器測(cè)量反彈的微小位移。
ZNXsensor電容式位移傳感器是一種非接觸式的電容式位移傳感器；兩個(gè)傳感器板形成一個(gè)平行板電容器，每個(gè)傳感器可用在兩個(gè)不同的測(cè)量范圍；納米分辨率；零磁滯。
詳情請(qǐng)?jiān)L問(wèn)：
http://www.51sensors.com/prod_detail_792.html
http://www.51sensors.com
深圳市真尚有科技有限公司
電話： / 26528011/26528012
傳真：/26435640
相關(guān)資料 更多
溫馨提示：為規(guī)避購(gòu)買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購(gòu)買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。
其他推薦產(chǎn)品
首頁(yè)| 關(guān)于我們| 聯(lián)系我們| 友情鏈接| 廣告服務(wù)| 會(huì)員服務(wù)| 付款方式| 意見(jiàn)反饋| 法律聲明| 服務(wù)條款