MEMS是Micro-Electro-MechanicalSystem的縮寫，中文名稱是微機電系統(tǒng)。MEMS芯片簡而言之，就是用半導(dǎo)體技術(shù)在硅片上制造電子機械系統(tǒng)，再形象一點說就是做一個微米納米級的機械系統(tǒng)，這個機械系統(tǒng)可以把外界的物理、化學(xué)信號轉(zhuǎn)換成電信號。這類芯片做出來可以干嘛？*常用的是承擔(dān)傳感功能。 在整個大的信息系統(tǒng)里有點類似于人的感官系統(tǒng)，例如MEMS麥克風(fēng)芯片相當(dāng)于人的耳朵，可以感知聲音；MEMS揚聲器芯片相當(dāng)于人的嘴巴，可以發(fā)出聲音；MEMS加速度計、陀螺儀、磁傳感器芯片相當(dāng)于人的小腦，可以感知方向和速度；MEMS壓力芯片相當(dāng)于人的皮膚，可以感知壓力；MEMS化學(xué)傳感器相當(dāng)于人的鼻腔，可以感知味道和溫濕度。沒有MEMS芯片的人工智能和萬物互聯(lián)，就相當(dāng)于沒有感官器官的人。 下圖是來自日本豐橋技術(shù)科學(xué)大學(xué)，通過高精度傳感器拍攝的微米級MEMS機械結(jié)構(gòu)運動情況，可以很直觀看到MEMS具有常規(guī)的機械系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，但是尺寸做到了微米級甚至納米級。 MEMS被認為是21世紀*有前途的技術(shù)，如果半導(dǎo)體微制造被視為*次微制造革命，MEMS則是第二次革命。通過結(jié)合硅基微電子技術(shù)和微機械加工技術(shù)，MEMS具有革命性的工業(yè)和消費產(chǎn)品的潛力。 在此需要劃重點的是，MEMS是一種制造技術(shù)，諸如杠桿、齒輪、活塞、發(fā)動機甚至蒸汽機都是由MEMS制造的。 事實上，MEMS這個詞實際上有一定誤導(dǎo)，因為許多微機械設(shè)備在任何意義上都不是機械的。然而，MEMS又不僅僅是關(guān)于機械部件的微型化或用硅制造東西，它是是一種利用批量制造技術(shù)設(shè)計、創(chuàng)建復(fù)雜機械設(shè)備和系統(tǒng)及其集成電子設(shè)備的范例。再具化一點講，集成電路的設(shè)計是為了利用硅的電學(xué)特性，而MEMS則利用硅的機械特性，或者說利用硅的電學(xué)和機械特性。 天長市自動化儀表廠