什么是小型真空泵
小型真空泵是一種將密閉容器中的空氣排出，使容器內(nèi)部產(chǎn)生真空的小型泵。
對(duì)于小型真空泵，抽速通常在 200 l/min 左右，極限壓力在 0.1 Pa 至 10 Pa 左右。此外，它還用作低真空泵以獲得高真空環(huán)境，常用于各種可以在低真空下操作的分析儀器和理化儀器。
有油回轉(zhuǎn)泵、干泵、隔膜泵等多種類型，可根據(jù)原理和使用條件進(jìn)行選擇。
小型真空泵的應(yīng)用
小型真空泵用于要求真空度在0.1Pa左右甚至更高真空環(huán)境的分析儀器和實(shí)驗(yàn)設(shè)備。例如，小型真空泵非常適合需要真空環(huán)境的電子顯微鏡、X射線分析、質(zhì)譜儀、氣相色譜儀等。
另外，在半導(dǎo)體制造的情況下，需要真空環(huán)境來使用濺射、真空蒸發(fā)、CVD（化學(xué)氣相沉積）等形成薄膜。另外，小型真空泵在食品加工中用于真空包裝和真空包裝。
小型真空泵原理
小型真空泵按抽氣方式、壓力范圍、是否用油等分類。
1、排氣方式
真空泵按抽氣方式分為氣體輸送式真空泵和氣體儲(chǔ)存式真空泵。氣體輸送真空泵將空氣從進(jìn)氣側(cè)輸送到排氣側(cè)。
另外，儲(chǔ)氣罐式真空泵是一種將要排出的空氣儲(chǔ)存在泵中，并使用另一個(gè)真空泵排出積聚的空氣的系統(tǒng)。
2、壓力區(qū)
用單個(gè)真空泵不可能涵蓋從大氣壓到高真空的所有情況。通常，除了用于高真空的主泵外，還使用輔助泵或低真空泵。
3.干/濕
真空泵有兩種類型：不使用油的干式真空泵和使用油的濕式真空泵。使用油的泵產(chǎn)生的真空?qǐng)霭帽旧懋a(chǎn)生的油蒸氣和水蒸氣。
干式真空泵在需要精細(xì)控制的半導(dǎo)體制造工藝中尤其必要。干法也用于不耐油的食品和藥品的生產(chǎn)。
小型真空泵的類型
1、油旋片真空泵
在各種真空泵中，由于排量、極限壓力、價(jià)格等原因，油旋片真空泵使用*多。這種類型根據(jù)泵的類型而有多種類型，稱為旋轉(zhuǎn)式。
油的作用是潤(rùn)滑軸承并改善氣缸內(nèi)部的密封性。旋片式油回轉(zhuǎn)真空泵有多種類型，如旋片式、凸輪式、擺動(dòng)活塞式等。能夠輕松獲得0.1Pa左右中真空的泵。
旋片式油回轉(zhuǎn)真空泵
旋片式油回轉(zhuǎn)真空泵的結(jié)構(gòu)是，在內(nèi)筒中內(nèi)置的轉(zhuǎn)子上安裝有葉片。當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，由葉片劃分的小室中的氣體被排出，導(dǎo)致壓力降低。
凸輪式油回轉(zhuǎn)
真空泵在安裝在圓柱形定子中心的偏心轉(zhuǎn)子的一部分與定子接觸的同時(shí)旋轉(zhuǎn)。定轉(zhuǎn)子間隙中的氣體被排出，壓力降低。
擺動(dòng)活塞式油回轉(zhuǎn)真空泵
在擺動(dòng)活塞式中，活塞由于偏心轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)而上下運(yùn)動(dòng)。氣缸內(nèi)的空氣被活塞壓縮并排出，壓力降低。
2.干泵
干泵是一種清潔、非接觸式真空泵，不使用油或液體。根據(jù)泵的類型，有多種類型。
羅茨型干式真空泵
這是一種使用羅茨型轉(zhuǎn)子的泵。由于不需要冷卻水，非常方便。
渦旋式干式真空泵
這種結(jié)構(gòu)是通過渦旋件的旋轉(zhuǎn)，從外向內(nèi)壓縮和排出空氣，形成真空狀態(tài)。其結(jié)構(gòu)緊湊，具有高真空、低振動(dòng)、低噪音、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。
爪式干式真空泵
兩個(gè)爪形爪轉(zhuǎn)子通過相反方向旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生真空。
隔膜式干真空泵
稱為泵軸的活塞的往復(fù)運(yùn)動(dòng)使隔膜上下移動(dòng)，吸入和排出空氣。
其他
類型包括旋轉(zhuǎn)葉片式和擺動(dòng)活塞式。這是一種結(jié)構(gòu)與油回轉(zhuǎn)泵類似的真空泵。
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