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層流凈化工業(yè)電子廠房潔凈檢測(cè)第三方檢測(cè)費(fèi)用--天津中達(dá)檢測(cè)濟(jì)南分公司 2.溫濕度需求:溫度通常為24 2 度 ,相對(duì)濕度為55 5%; 3.送風(fēng)量大。為了滿意無(wú)塵車間內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡,需求較大的送風(fēng)量,就300平方米的車間,吊頂高度為2.5米的,如果是萬(wàn)級(jí),送風(fēng)量就需求300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù),是≥25次/h);如果是十萬(wàn)級(jí),送風(fēng)量就需求300×2.5×20=15000m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù),是≥15次/h)。每個(gè)行業(yè)對(duì)于潔凈室的要求都不同,良好的車間環(huán)境對(duì)于東西的生產(chǎn)及員工的健康都起著特別大的作用。
對(duì)于無(wú)塵室內(nèi)的換氣次數(shù)一般要求為:人均每小時(shí)換氣5次以上;人均每小時(shí)新風(fēng)量30立方米以上;每人每小時(shí)換風(fēng)量10立方米以上;每平方米允許噪聲強(qiáng)度85分貝以下(a計(jì)權(quán));溫濕度波動(dòng)小;光照度適宜等等。氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌。等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過(guò)程,即可達(dá)到凈化目的。換氣次數(shù):100000級(jí)≥15次;10000級(jí)≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa平均風(fēng)速:10級(jí)、100級(jí)0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動(dòng)±2℃。溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。噪聲≤65dB(A);新風(fēng)補(bǔ)充量是送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX。
工業(yè)電子廠房潔凈檢測(cè) 1、電子制造廠萬(wàn)級(jí)潔凈室噪聲級(jí)(空態(tài))不應(yīng)過(guò)65dB(A)。2、電子制造廠潔凈室滿布比垂直流潔凈室不宜低于60,水平單向流潔凈室不宜低于40,否則會(huì)偏單向流。3、潔凈室與電子制造廠房外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa,潔凈區(qū)與不同空氣潔凈度的非潔凈區(qū)的靜壓差不應(yīng)小于或大于5Pa。4、電子制造業(yè)萬(wàn)級(jí)潔凈室新風(fēng)量取下列兩項(xiàng)中較大值:(1)補(bǔ)償維持室內(nèi)正壓值所需的室內(nèi)排風(fēng)量和新風(fēng)量之和。(2)潔凈室每人每小時(shí)新風(fēng)量不應(yīng)少于40立方米。(3)電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的加熱器應(yīng)設(shè)有新風(fēng)和溫?cái)嚯姳Wo(hù)。如果采用點(diǎn)加濕方式,則無(wú)需設(shè)置水保護(hù)。在寒冷地區(qū),新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)有防凍保護(hù)措施。
隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)發(fā)展迅速。現(xiàn)代電子產(chǎn)品要求微型化、精密化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性,電子產(chǎn)品本身使用的集成電路、電子元器件的生產(chǎn)過(guò)程都要求在受控的環(huán)境下進(jìn)行操作,受控參數(shù)涉及微粒、化學(xué)污染物等與產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程接觸的各種介質(zhì)。電子廠房?jī)?nèi)氣流組織依據(jù)氣流流型可劃分為單向流、非單向流和混合流三種形式。
電子廠凈化工程不一樣級(jí)別氣體潔凈度等級(jí)的空氣過(guò)濾網(wǎng)的采用、布局關(guān)鍵點(diǎn):針對(duì)300000級(jí)空氣過(guò)濾解決,可選用亞高效過(guò)濾器替代高效送風(fēng)口;氣體潔凈度等級(jí)100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)及100000級(jí)的空氣過(guò)濾解決,應(yīng)選用初、中、高效率三級(jí)過(guò)濾裝置;中效或高效率空氣過(guò)濾網(wǎng)宜按低于或相當(dāng)于額定值排風(fēng)量采用;中效空氣過(guò)濾網(wǎng)宜集中化設(shè)定在凈化室內(nèi)空氣調(diào)整的正壓力段;高效率或亞高效率空氣過(guò)濾網(wǎng)宜設(shè)定在凈化室內(nèi)空氣調(diào)整系統(tǒng)軟件的尾端。 千級(jí)無(wú)塵車間的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)是0.5微米的*容許粒子濃度小于35200(pc/m3),5微米的*容許粒子濃度小于2930(pc/m3);百級(jí)車間的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)是每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下。可以看出潔凈度等級(jí)越高的車間,標(biāo)準(zhǔn)也更高,要求車間內(nèi)的塵埃粒子數(shù)量更少,這樣無(wú)塵車間才能更潔凈。
工業(yè)電子廠房潔凈檢測(cè) 電子無(wú)塵車間后,為電子無(wú)塵車間空調(diào)凈化系統(tǒng)軟件的電加熱器出示空氣清新和過(guò)熱關(guān)閉電源維護(hù)(假如應(yīng)用點(diǎn)增濕器,應(yīng)出示沒(méi)有水維護(hù))。嚴(yán)寒氣溫地區(qū)應(yīng)是新鮮空氣系統(tǒng)出示防寒保障措施。 性能無(wú)塵車間能夠?yàn)殡娮有酒纳a(chǎn)制造和生產(chǎn)制造造就高度清理的環(huán)境。只能在這類環(huán)境下,才可以確保電子芯片的生產(chǎn)安全。
目前對(duì)于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)車間空調(diào)系統(tǒng)具有以下特點(diǎn):1、大規(guī)模集成電路工藝布置多采用開(kāi)放環(huán)境結(jié)合微環(huán)境的方法,在保證產(chǎn)品質(zhì)量的同時(shí),還可達(dá)到減少建設(shè)投資、降低運(yùn)行費(fèi)用的目的。2、對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)為1-5級(jí)時(shí),基本上采用單向流或混合流;空氣潔凈度等級(jí)為6-9級(jí)時(shí),基本上采用非單向流。3、為有效降低能耗、降低空氣處理時(shí)冷熱抵消現(xiàn)象,對(duì)于新風(fēng)系統(tǒng)常采用集中處理形式。
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