HORIBA掘場EV-140C等離子體排放監(jiān)測器北崎國際
HORIBA掘場EV-140C等離子體排放監(jiān)測器北崎國際
這是發(fā)射光譜法的終點監(jiān)測器，用于檢測使用等離子體的半導體薄膜工藝中的終點或管理等離子體條件。
新開發(fā)的算法 “Rupture Intensity” 可以準確檢測微弱信號變化的終點。
為了捕捉到發(fā)射光的微弱變化，靈敏度得到了極大的提高。
此外，通過提高抗噪性，確保 24 小時運行的生產(chǎn)線在惡劣環(huán)境中高度穩(wěn)定運行。
制造商： HORIBA CORPORATION
我們將借給您一套 EV-140C，以匹配您的系統(tǒng)并安心采用它。
對于給您帶來的不便，我們深表歉意，但請點擊下面的圖標并輸入所需信息。
我們的工作人員將確認所需的日期和所需的系統(tǒng)。
| 分光鏡 | |
|---|---|
| 波長范圍 | 200-800 納米 |
| 光學分辨率 |
<2.0nm @λ=200-500nm <2.5nm @λ=500-700nm （FWHM 理論分解 |
| 光學工作臺 | |
|---|---|
| 設計 | 平場像差校正多色儀 |
| 焦距 | 140 毫米 |
| 高階光截止濾波器 | 內(nèi)置 |
| 探測器 | |
|---|---|
| CCD 型 | 薄型背照式 CCD 線陣圖像傳感器 |
| 元素數(shù) | 2048 × 64 |
| A/D 分辨率 | 16 位 |
| 曝光時間控制 |
20 毫秒至 2.5 秒 （以 10 毫秒為步長設置） |
| 一般規(guī)格 | |
|---|---|
| 測量光輸入 | 光纖輸入 |
| 傳感器單元尺寸 | 137（寬）×156（高）×257（深）毫米 |
| 傳感器質(zhì)量 | 4.0 千克 |
| 連接的腔室數(shù)量 | 1通道 |
| 電源規(guī)格 | 直流24V±10% |
| 功耗 | 12 伏安 |
| 工作環(huán)境溫度 | 15-35°C |
| 儲存環(huán)境溫度 | 0-50°C（無冷凝） |
| 工作/儲存濕度 | <80%RH@25°C（非冷凝） |
| LCD 顯示屏 | 執(zhí)行狀態(tài)/傳感器錯誤/控制器錯誤 |
| 冷卻風扇 | DC 風扇 |
| I/O | |
|---|---|
| ◎ 模擬輸出（根據(jù)配方實時輸出計算結果） ) | |
| 輸出端口數(shù) | 2 通道 |
| 電壓輸出 | 0-5VDC 直流 |
| ◎ 數(shù)字輸入/輸出（通過外部遠程協(xié)議進行配方設置和端點輸出） | |
| 數(shù)字輸出 | PIO/DI=8 位/DO=8 位 |
| 外部通用連接器 |
Dsub25S （并行 IO 端口，用于模擬輸出） |
| 控制器接口 | Erthanet ×1 端口 |
| 大小 | 197（寬）×148（高）×250（深）毫米 |
|---|---|
| 操作系統(tǒng) | WindowsXP Embedded （英文版） |
| 中央處理器 | 賽揚 1.3GHz |
| 主要 |
1GB |
| 硬盤 | 80GB |
| 外部接口 |
- 以太網(wǎng)×2 - RS-232C×2 |
| 電源規(guī)格 | AC90-264V 50/60±3Hz |
| 遠程協(xié)議 |
并行 I/O/RS232C 串行協(xié)議 *單獨支持 LAN 連接 |
|---|
| 合規(guī)標準 | CE/FCC |
|---|
| 光纖 | |
|---|---|
| 光纖規(guī)格 | 合成石英纖維 |
| 外部纖維等級 | VIS 用 / 紫外線用和耐光性（2 種類型可供選擇） |
| 纖維長度 | 2m/5m（2種可選） |
| 交流電源裝置 | |
|---|---|
| 電源輸入 | AC90-264V 50/60±3Hz |
| 功率輸出 | DC24V 2A 輸出 |
| 聚焦光學元件 | |
|---|---|
| 腔室適配器 | 聚光鏡單元 |
| PC 配件 | |
|---|---|
| PC 配件 | LCD 顯示器/鍵盤/鼠標 |
| PC 的電池選項 | |
|---|---|
| 不間斷電源 | 控制器 PC 的不間斷電源 |
在手機上查看
京公網(wǎng)安備 11010802023672號
溫馨提示：為規(guī)避購買風險，建議您在購買產(chǎn)品前務必確認供應商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。