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HORIBA掘場(chǎng)CS-620F 光纖熱磷酸鹽濃度監(jiān)測(cè)儀北崎國(guó)際
HORIBA掘場(chǎng)CS-620F 光纖熱磷酸鹽濃度監(jiān)測(cè)儀北崎國(guó)際
半導(dǎo)體制造工藝，主要是 3D NAND 閃存的 SiN 層※1它是控制蝕刻過程中所用磷酸濃度的理想選擇。
由于無需冷卻即可直接測(cè)量循環(huán)管路中的高濃度（高達(dá) 92%）和高溫磷酸 （140-170°C），因此無需冷卻機(jī)構(gòu)和冷卻時(shí)間。
在樣品連接處使用 PFA 可降低污染風(fēng)險(xiǎn)。
實(shí)時(shí)測(cè)量每 3 秒更新一次測(cè)量數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)更快的濃度反饋控制。
采用半年一次的背景校正周期減少了設(shè)備停機(jī)時(shí)間。
該磷酸濃度監(jiān)測(cè)儀無需冷卻即可實(shí)時(shí)測(cè)量高溫磷酸。
*1 SiN 層：在硅晶片上形成的硅和氮化合物的薄膜。
高濃度、高溫
低污染風(fēng)險(xiǎn)
實(shí)現(xiàn)更快的反饋控制
減少設(shè)備停機(jī)時(shí)間
產(chǎn)品名稱
化學(xué)品濃度監(jiān)測(cè)儀
型
CS-620F 系列
測(cè)量原理
吸收光譜
濃度計(jì)算原理
溫度補(bǔ)償多變量分析方法
測(cè)量目標(biāo)
H3采購(gòu)訂單4/小時(shí)2O
測(cè)量范圍和
重復(fù)精度
成分名稱
測(cè)量范圍 （mass%）
重復(fù)精度 （mass%）
模擬輸出范圍 （mass%）
*種化學(xué)溶液
H3采購(gòu)訂單4
85.00-92.00
+/-0.10
85.00-100.00
H2O
8.0-15.0
+/-0.3
0.0-15.0
?再現(xiàn)性精度由平均值的*誤差（1 小時(shí)）。
?對(duì)于相同的化學(xué)溶液，在化學(xué)溫度范圍 （140-170 °C） 內(nèi)可能會(huì)出現(xiàn)高達(dá) +/- 0.3% 的*參考值差異。
測(cè)量條件
1） 測(cè)量間隔：約 3 秒
2） 移動(dòng)平均：16 次
連接配件尺寸
1 英寸或 3/4 英寸
測(cè)量液體條件
化學(xué)溫度：140-170°C 化學(xué)
溫度變化、環(huán)境溫度變化±1°C（1小時(shí)）以內(nèi) 輸入
壓力：0.2MPa以下
壓力波動(dòng)：0.02MPa以下
流量：1-30L/min
儀表空氣（作和吹掃）
配合：4 mm 外徑快速配合
壓力：0.2 MPa ± 0.02 MPa
權(quán)力
100-230 V AC（單相）、50/60 Hz
功耗
約 85 VA（不包括啟動(dòng)瞬態(tài)電流）
通信協(xié)調(diào)
并行 I/O、RS-232C、模擬輸出
外形尺寸
（顯示器本體） 200 （W） X308 （D） X78 （H） mm （不包括突起部分）
（光源單元） 200 （W） X262 （D） X100 （H） mm （不包括突起部分）
（樣品池） 240 （W） X209 （D） X205 （H） mm （不包括突起部分）
質(zhì)量
（顯示器本體） 約 3.6 kg
（光源單元） 約 2.8 kg
（樣品池） 約 3.0 kg
安裝溫度
（監(jiān)視器和光源單元通用） 20-30°C
（光纖、樣品池） 20-100°C
* 室溫?zé)o突然變化，± 1 °C / 1 小時(shí)內(nèi)
安裝 相對(duì)濕度
40-70 % （非冷凝）
安裝傾斜角度
（顯示器和光源單元通用） ± 1° 以內(nèi)（
樣品池） 安裝池，使其向上流動(dòng)，使氣泡不會(huì)停滯
光纖
標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度 5 m，*小彎曲半徑 150 mm
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