北崎供應日本ORC UV-351紫外線測量器
北崎供應日本ORC UV-351紫外線測量器
它是一種小型、輕便的手持式測量儀器,受光部和主體一體化。 該測量儀器與 UV 光刻設備和 UV 輸送機兼容。
◆ 特點 |
? | 可以管理光刻設備、UV 傳送帶等的照度和光強度。 |
? | 它是一種小巧、輕便、輕薄的手持式類型。 |
? | 您可以根據(jù)應用選擇 UV-351(相當于 UV-SD35)、UV-351-25(相當于 UV-SD25)和 UV-351-42(相當于 UV-SD42)。 |
? | 可選擇多種測量模式,如光強測量、照度測量、峰值照度測量等。 |
? | 它具有金屬機身,耐熱,結(jié)構(gòu)堅固。 |
◆ 關于 SD 型和 SN 型 |
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SN 模型已被長期使用我們的光刻設備和輻照設備的客戶廣泛采用,并確保了工藝管理的連續(xù)性。 對于在半導體和液晶基板的制造過程中已經(jīng)使用其他公司制造的測光表,并且關心確保與這些測量儀器的數(shù)據(jù)兼容性的客戶(SD 型也用于我們光刻設備中液晶基板的投影光刻設備和外圍光刻設備)的客戶,以及使用全新測光表的客戶,使用 SD 型。 |
◆ 關于 SD 型和 SN 型的指示值 |
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為了保證舊過程數(shù)據(jù)的兼容性,使用 SN 型為 SD 型提供指示值(在相同測量條件下測量用作校準輻射源的高壓紫外燈的 365 nm 發(fā)射線時顯示的照度值: mW/cm2 的 mW/cm2 )。 |
◆ 與其他公司的測光表和測光表的數(shù)據(jù)兼容性 |
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與測光表和可見光測光表(以 LUX 為單位測量家庭、辦公室、商店、博物館等亮度的測光表和測光表)不同,適用于所有測光表和紫外線測光表的標準尚未建立(似乎正在為少數(shù)有限的應用進行 JIS 轉(zhuǎn)換工作)。 即使每家公司的相對光譜靈敏度都是為了通過主要由 365 nm 發(fā)射線組成的光源測量照度,也從測量的峰值波長(相對光譜靈敏度特性用 1 表示的波長)開始,短波長側(cè)(約 300 nm ~ 310 nm)和長波長側(cè)(約 380 nm ~ 400 nm)的上升, 下降的波長和前后的曲線略有不同。 此外,在設計方面也做出了努力,使感光器的感光角度特性(據(jù)說是 COSθ 特性)更接近理想曲線,但現(xiàn)實情況是它們尚未實現(xiàn)。 |
◆ 規(guī)格 |
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測量波長范圍 | 310~385nm (相當于 UV-SD35) |
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測量光范圍 | 1~19999 毫焦耳/厘米2 |
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測量照度范圍 | 0.1~100.0 毫瓦/厘米2 |
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對準精度 | 紫外線標準品的 1.5% 以內(nèi)± |
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重復性 | 1.5% 以內(nèi)± |
◆ 紫外測量儀器 光電探測器 光譜靈敏度特性 |
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