北崎供應(yīng)ENTEGRIS恩特格里斯 WGMXMBPRF2 在線氣體過(guò)濾器

北崎供應(yīng)ENTEGRIS恩特格里斯 WGMXMBPRF2 在線氣體過(guò)濾器

Wafergard® MAX 在線氣體過(guò)濾器
它為高純度氣體應(yīng)用提供了*的顆粒去除性能。 Wafergard® MAX 在線氣體過(guò)濾器是業(yè)界*的高純度氣體應(yīng)用過(guò)濾器。 全氟聚合物濾芯適用于高純度氣體以及一般氮?dú)夂?CDA 應(yīng)用。
用于高純度應(yīng)用的含氟聚合物濾芯
適用于高流速和低壓力波動(dòng)的應(yīng)用
與惰性和高反應(yīng)性氣體（如臭氧）兼容
經(jīng)過(guò)預(yù)處理，可快速啟動(dòng)（僅限銀色型）
Wafergard® MAX 在線氣體過(guò)濾器應(yīng)用工藝設(shè)備氣體面板
VMB
氣缸柜低壓側(cè)
原料氣供應(yīng)管線
技術(shù)規(guī)格
產(chǎn)品規(guī)格材料 濾芯 PFA 載體 / PTFE 膜 
  住房 低硫 316L 不銹鋼 
內(nèi)表面粗糙度 Bronze Plus 和 Silver Ra < 0.17 μm 
He 泄漏箱 1 x 10-10 帕米3/秒 
顆粒清潔度 粒子 0.01 μm 或更大的顆粒為 0.03 pcs/L 或更低 
  排放氣體（銀型） H2O，THC 低于 10 ppb 
粒子捕獲速率 大于 0.0015 μm 的顆粒，99.9999999% @ 20°C，101kPa 
使用條款 *工作壓力 1 MPa 以下（日本） 
  *允許正壓差 0.7 MPa 
  *允許反向壓差 0.25 MPa 
  *工作溫度 20°C 
流量 查看我們的性能數(shù)據(jù) 
型號(hào)Wafergard® MAX 在線氣體過(guò)濾器型號(hào)型號(hào)接頭尺寸和類型長(zhǎng)度
WGMXMBPRF2 入口 6.35 mm （1/4“） VCR® 公頭，出口 6.35 mm （1/4”） VCR® 母頭 141.2 毫米（5.6 英寸） 
WGMXMBRR2 6.35 毫米（1/4 英寸）VCR® 兼容公頭 127 毫米（5.00 英寸） 
WGMXMBRR4 12.7 毫米（1/2 英寸）VCR® 兼容公頭 127 毫米（5.00 英寸） 
WGMXMBSS2 兼容 6.35 mm （1/4“） Swagelok® 112.7 毫米（4.44 英寸） 
WGMXMBSS3 兼容 9.52 mm （3/8“） Swagelok® 117.9 毫米（4.64 英寸） 
WGMXMBSS4 兼容 12.7 mm （1/2“） Swagelok® 118.7 毫米（4.67 英寸） 
WGMXMPRR2 6.35 毫米（1/4 英寸）VCR® 兼容公頭 127 毫米（5.00 英寸） 
WGMXMPRR4 12.7 毫米（1/2 英寸）VCR® 兼容公頭 127 毫米（5.00 英寸） 
WGMXMPSS2 兼容 6.35 mm （1/4“） Swagelok® 112.7 毫米（4.44 英寸） 
WGMXMPSS3 兼容 9.52 mm （3/8“） Swagelok® 117.9 毫米（4.64 英寸） 
WGMXMPSS4 兼容 12.7 mm （1/2“） Swagelok® 118.7 毫米（4.67 英寸） 
WGMXMSBW2 6.35 毫米（1/4 英寸）對(duì)焊管 133.4 毫米（5.25 英寸） 
WGMXMSBW3 9.52 毫米（3/8 英寸）對(duì)焊管 133.4 毫米（5.25 英寸） 
WGMXMSBW4 1/2“ 對(duì)焊管件 133.4 毫米（5.25 英寸） 
WGMXMSRR2 6.35 毫米（1/4 英寸）VCR® 兼容公頭 127 毫米（5.00 英寸） 
WGMXMSRR4 12.7 毫米（1/2 英寸）VCR® 兼容公頭 127 毫米（5.00 英寸）