多點(diǎn)超聲波液位開關(guān)PLS960，多點(diǎn)超聲波液位開關(guān)PLS960簡介

美國sensaras晟爾斯多點(diǎn)超聲波開關(guān)PLS960介紹

超聲波侵入式多點(diǎn)液位系統(tǒng)主要用于半導(dǎo)體工業(yè)中PVD、
CVD、ALD等工藝所需的起泡器和安瓿瓶等容器罐內(nèi)高純度化
學(xué)品液位的高精度和高可靠性的測量。
液位系統(tǒng)在化學(xué)氣相沉積過程中至關(guān)重要，如ALD，CVD，
PVD等半導(dǎo)體晶圓制造過程。
PLS960系列多點(diǎn)液位系統(tǒng)用于檢測非常昂貴的高純度化
學(xué)品（DMAH、TAETO、CVD、TDEAT、CUTMUS、DTEOS、
DECT、TCA和金屬化初級粒子等）的準(zhǔn)確數(shù)量，減少化學(xué)廢
物，增加產(chǎn)量和利潤。

通過超聲波回波處理技術(shù)檢測液體在容器中的存在狀態(tài)
不受被測物的介電常數(shù)、顏色、密度和粘度等參數(shù)影響
探頭采用316L 不繡鋼材質(zhì)，通過?”或?” VCR與容器連接
探頭采用套筒式或叉式結(jié)構(gòu)一體式設(shè)計(jì)，無可動部件
模塊與探頭分離，無需校準(zhǔn)，易安裝

多點(diǎn)液位測量
高位/溢出報(bào)警
低位/停止、再進(jìn)料
半導(dǎo)體行業(yè)和醫(yī)藥制藥行業(yè)

輸入： 24VDC
輸出: 每點(diǎn)1A SPDT
1A SPDT 報(bào)錯(cuò)點(diǎn)、自動進(jìn)料顯示
本地溫度顯示可選
可高達(dá)7點(diǎn)液位顯示和報(bào)錯(cuò)顯示
對不同液體也無需校準(zhǔn)

重復(fù)性: +/- 0.04”(1mm)（典型）
精度: +/- 0.06 (1.5mm)
電流消耗：大250mA（典型）

材質(zhì)： 316LS不銹鋼

3/4" VCR連接結(jié)構(gòu)可達(dá)到7個(gè)液位檢測點(diǎn)

1/2" VCR連接結(jié)構(gòu)可達(dá)到4個(gè)液位檢測點(diǎn)

多于7個(gè)點(diǎn)的檢測請與我們聯(lián)系，可定制達(dá)16個(gè)點(diǎn)。

K-type SLE 溫度傳感器（可選）
低液位檢測點(diǎn)可置于探頭末端向上5毫米
兩個(gè)液位檢測點(diǎn)小距離可為2.5毫米
大長度 : 600毫米，若需更長與我們聯(lián)系
溫度: 0° to 125°C (標(biāo)準(zhǔn))，達(dá) 160°C的定制請與我們聯(lián)系

如按安裝指南正確安裝不能達(dá)到我們所達(dá)成的規(guī)格，在
發(fā)貨日起45自然日內(nèi)，Sensaras接受免費(fèi)退換貨。
產(chǎn)品保修期：自發(fā)貨之日起18個(gè)月。

資料下載

PLS960全套中文資料.pdf