世通校準(zhǔn)：金相顯微鏡的校準(zhǔn)方法

世通校準(zhǔn)：金相顯微鏡的校準(zhǔn)方法金相顯微鏡主要分為光學(xué)式金相顯微鏡、數(shù)碼金相顯微鏡、便攜式視頻金相顯微鏡、金相顯微鏡、圖像剖析儀等。（以下統(tǒng)稱金相顯微鏡）

圖1 纖維、金相顯微鏡構(gòu)造原理圖[1]

（1-工作臺(tái)；2-物鏡；3-分光鏡；4-光源；5-聚光鏡；6-反射

鏡；7-目鏡分劃板；8-目鏡）

1. 金相顯微鏡的溯源

由于各種金相顯微鏡的用處不同,故其類型、構(gòu)造及精度亦不同，因此溯源關(guān)系和方式也不同。經(jīng)過不同的技術(shù)手腕和辦法，我們終可溯源到 “單刻線榜樣規(guī)范器組”和“0.01mm 規(guī)范測(cè)微尺” 規(guī)范器組。

2. 校準(zhǔn)項(xiàng)目的設(shè)立

2.1. 物鏡場(chǎng)曲

將一物鏡裝置好,將0.01mm 規(guī)范測(cè)微尺放在工作臺(tái)上并壓緊；旋轉(zhuǎn)調(diào)焦旋鈕，將焦點(diǎn)調(diào)整在測(cè)微尺的中間，視場(chǎng)中心成像明晰，此時(shí)將千分表測(cè)頭與工作臺(tái)外表相接觸并對(duì)好表的零位；再次旋轉(zhuǎn)調(diào)焦旋鈕，把焦點(diǎn)調(diào)整到測(cè)微尺的邊緣，使視場(chǎng)邊緣成像明晰。察看千分表，其大偏移量即為該物鏡的場(chǎng)曲誤差，其他物鏡以此類推停止校準(zhǔn)物鏡場(chǎng)曲誤差的指標(biāo)如下：10X≤0.20mm、25X≤0.10mm 、40X≤0.07mm 、63X≤0.065mm 、100X≤0.04mm。

2.2. 物鏡放大倍數(shù)的正確性

裝上10X 規(guī)范目鏡和被檢物鏡，將0.01mm 規(guī)范測(cè)微尺放在工作臺(tái)上并壓緊。察看時(shí)測(cè)微尺應(yīng)與目鏡中的分劃板相契合，其偏移量則是放大倍數(shù)的誤差。其他物鏡以此類推停止校準(zhǔn)，其誤差不大于5％。

2.3. 目鏡分劃板的度

將帶分劃板目鏡的鏡頭旋下,把分劃板放置在萬工顯工作臺(tái)上并調(diào)好焦距；調(diào)整工作臺(tái),使分劃板的程度線與萬工顯縱導(dǎo)游軌行程平行并對(duì)好零位,按每20 格丈量一次,直至第100 格,其誤差不大于5μm。

2.4. 物鏡成像明晰范圍

用被檢物鏡及10x 目鏡對(duì)測(cè)微尺或金相試樣停止調(diào)焦，使成像明晰。當(dāng)視場(chǎng)中心像明晰時(shí)，測(cè)得視場(chǎng)內(nèi)的成像明晰范圍的誤差不低于60%

2.5. 各物鏡相關(guān)于目鏡的格值

裝上被檢儀器的10X 目鏡，將0.01mm 規(guī)范測(cè)微尺（引薦運(yùn)用隨機(jī)0.01mm 測(cè)微尺）放在工作臺(tái)上并壓緊；調(diào)整測(cè)微尺標(biāo)尺軸線與儀器目鏡分劃板標(biāo)尺軸線平行，并讀出目鏡分劃板i 條刻線里包含測(cè)微尺n 條刻線數(shù)，該物鏡相關(guān)于目鏡的格值為：C= mmin × 0.01 。其他物鏡的格值以此類推停止校準(zhǔn)。

2.6. 金相顯微鏡示值誤差

2.6.1.辦法一

這一法應(yīng)在不同的放大倍數(shù)條件下停止。寬的單刻線榜樣用于放大倍數(shù)小的物鏡，其他依此類推。（本規(guī)程引薦用單刻線榜樣規(guī)范器組中寬和次寬的榜樣）將單刻線榜樣置于儀器的工作臺(tái)上，調(diào)整儀器

使榜樣在視場(chǎng)呈現(xiàn)明晰的象，借助儀器工作臺(tái)的微分筒挪動(dòng)榜樣，使單刻線的應(yīng)用段連同兩個(gè)記號(hào)呈如今儀器目鏡的分劃板中；旋轉(zhuǎn)目鏡角度，使榜樣的刻線方向與分劃板的刻線垂直，并讀出在單刻線寬度上所包含的分劃板的刻線數(shù)。物鏡的格值C 乘以刻線數(shù)i 即為儀器測(cè)得的單刻線寬度值。金相顯微鏡示值誤差δ 可由下式肯定：

（式中：L 標(biāo) ——證書上所標(biāo)明的榜樣刻線寬度）

用單刻線榜樣以相同的辦法對(duì)各種物鏡分別停止，其示值誤差δ 均不越相關(guān)規(guī)則。

2.6.2. 辦法二

如被檢儀器的格值是用隨機(jī)0.01mm 測(cè)微尺的，我們可用規(guī)范測(cè)微尺示值誤差。我們將規(guī)范測(cè)微尺置于儀器工作臺(tái)上，調(diào)整測(cè)微尺標(biāo)尺軸線與儀器目鏡分劃板標(biāo)尺軸線平行，并讀出目鏡分劃板i 條刻線里包含測(cè)微尺n 條刻線數(shù)。儀器測(cè)得的長(zhǎng)度L 測(cè)= iC,其所對(duì)應(yīng)的規(guī)范測(cè)微尺長(zhǎng)度為L 標(biāo)=n×0.01mm,則金相顯微鏡的示值誤差為：

（式中：L 標(biāo) ——證書上所標(biāo)明的規(guī)范測(cè)微尺長(zhǎng)度）

用規(guī)范測(cè)微尺以相同的辦法對(duì)各種物鏡分別停止，其示值誤差δ 均不越相關(guān)規(guī)則。（實(shí)驗(yàn)室及研討用金相顯微鏡引薦用此辦法停止）

2.6.3.辦法三

在數(shù)碼金相顯微鏡、便攜式視頻金相顯微鏡、金相顯微鏡、圖像剖析儀時(shí)，我們將單刻線榜樣或規(guī)范測(cè)微尺置于工作臺(tái)上，用儀器顯現(xiàn)器像素長(zhǎng)度值，可直接讀出單刻線的寬度值或測(cè)微尺的長(zhǎng)度值。金相顯微鏡示值誤差δ 可由下式肯定：

（式中：L 標(biāo) ——證書上所標(biāo)明的榜樣刻線寬度和規(guī)范

測(cè)微尺長(zhǎng)度。

用上述各級(jí)榜樣或規(guī)范測(cè)微尺以相同的辦法對(duì)各種物鏡分別停止，其示值誤差δ 均不越相關(guān)規(guī)則。

2.7. 隨機(jī)0.01mm 測(cè)微尺示值誤差

我們將測(cè)微尺置于阿貝比長(zhǎng)儀工作臺(tái)上，調(diào)整測(cè)微尺使其標(biāo)尺軸線與工作臺(tái)挪動(dòng)方向平行并對(duì)好零位,按每20 格丈量一次,直至第100 格,其誤差不大于3μm。

金相顯微鏡是普遍用于冶金、機(jī)械加工、科技等行業(yè)的丈量?jī)x器。它能夠丈量金屬資料金相組織奧氏體的晶粒度級(jí)別、資料熱處置后滲碳層的厚度等。為了進(jìn)步我國的資料研發(fā)制造程度，我們必需對(duì)金相顯微鏡進(jìn)行儀器校準(zhǔn)或。

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