世通儀器關于高溫微壓力傳感器校準實的研究
在航天航空領域，常常需要在惡劣環(huán)境下實時測量環(huán)境的各種相關參量，其中就包括微小壓力測量。由于測試工作處于高溫、高熱流、強電磁干擾、劇烈振動等惡劣的條件下，并且待測壓力微小，此外還要求小型化、低功耗，故而傳統(tǒng)的硅微壓力傳感器已難以滿足測試需求。相比之下光纖壓力傳感器有著無可比擬的優(yōu)勢:測量精度高、抗電磁干擾能力良好、絕緣性能好、性能穩(wěn)定等，因此光纖壓力傳感器*接近測試需求。F-P光纖壓力傳感器更是以極高的測量靈敏度和精度、成熟的微壓測量技術成為*，且只需在探頭結構上輔以耐高溫技術手段，使其能夠適應高溫環(huán)境，即能*終滿足測試的要求。

    高溫微壓力傳感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高溫材料制作外殼和支撐架，部件連接采用固體焊接等耐高溫工藝，實現(xiàn)了在無引壓管情況下對800℃高溫介質(zhì)微小壓力的直接測量，并且通過對彈性敏感組件等易損件采取專門的限位、加固措施，提高了抗沖擊、振動能力。為了在地面實驗室模擬傳感器的實際安裝測量環(huán)境，我們設計了一種適用于高溫微壓力傳感器的儀器校準實驗系統(tǒng)，通過高低溫真空試驗裝置和人機軟件的結合，為儀器校準提供了一個穩(wěn)定可靠、安全便捷的實驗平臺。

1、傳感器測量原理

(1) 微壓力測量原理

    高溫微壓力傳感器采用的是F-P干涉敏感原理，根據(jù)Fabry-Perot共振效應，F(xiàn)-P共振腔反射光的波長變化與兩反射面之間的距離呈函數(shù)關系。如圖1所示，為傳感器原理示意圖，感壓反射面及其支撐膜片和靜止反射面就構成了一個完整的F-P共振式壓力敏感結構。根據(jù)薄膜彈性形變原理，壓力敏感膜片在外界壓力的作用下發(fā)生形變，從而改變F-P腔腔長，引起干涉譜變化，通過測量干涉光譜，即可得到作用在壓力敏感膜上的壓力變化，從而達到測量壓力的目的。該結構的特點是靈敏度極高，可感受兩個鏡面之間納米級的位移變化，可滿足500 Pa微小壓力的測量需要。

(2) 傳感器的儀器校準原理

    在傳感器探頭確定的情況下，參數(shù)k1,k的值可以通過公式直接計算求得，而溫度敏感系數(shù)k2以及補償修正常數(shù)C則需要通過校準實驗才能確定。

    將被校傳感器與壓力、溫度標準具置于同一載荷環(huán)境，通過標準具得到壓力、溫度的標準量，通過解調(diào)模塊得到傳感器的輸出值。將標準輸人量與被校傳感器的輸出值繪制成傳感器的校準曲線，再根據(jù)校準數(shù)據(jù)采用*小二乘法確定傳感器的工作直線，用工作直線反映傳感器的輸人和輸出之間的關系，從而確定k2及C的取值。通過校準曲線與工作直線的比較，可以計算得到被校傳感器的靜態(tài)基本性能指標。

    校準過程中，校準點數(shù)通常取6～11，校準循環(huán)次數(shù)通常取3～5，具體大小取決于被校傳感器的精度和使用要求。

2、校準實驗系統(tǒng)設計

    儀器校準實驗系統(tǒng)由高低溫真空試驗裝置和上位機人機軟件組成，其中使用壓力薄膜規(guī)和鎳鉻熱電偶分別作為壓力、溫度參量基準，使用解調(diào)模塊讀出被校傳感器的輸出，系統(tǒng)結構如圖2所示。

(1) 高低溫真空實驗裝置

    高低溫真空實驗裝置是為了模擬傳感器實際測量環(huán)境而專門設計的，可以實現(xiàn)壓力、溫度的復合加載，由腔體、壓力控制系統(tǒng)、溫度控制系統(tǒng)和水冷循環(huán)系統(tǒng)等部分組成。

1) 腔體結構

    腔體是高低溫試驗裝置的核心部分，通過隔板分為載荷室和環(huán)境室兩個腔室。載荷室模擬傳感器前端接觸到的外界環(huán)境，如高溫、近真空、微小壓力，即殼體外表面環(huán)境;環(huán)境室模擬傳感器后端的工作環(huán)境，也就是殼體內(nèi)部的環(huán)境。腔室結構示意圖如圖3所示。

為了實現(xiàn)對載荷室溫度、壓力的復合加載，在載荷室的四周放置鎳鉻加熱板加熱，并帶有熱屏蔽板，使用兩根鎳鉻熱電偶測量載荷室環(huán)境溫度，作為參考溫度基準。在室溫～375℃的范圍內(nèi)，其測量精度為±1.5℃;在375～800℃的范圍內(nèi)，其測量精度為0.4%。通過壓力控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)載荷室內(nèi)環(huán)境壓力，使用MKS公司626系列壓力薄膜規(guī)作為參考壓力基準，其壓力測量范圍0.2～266 Pa,測量精度0.12%。

2) 壓力控制系統(tǒng)

    壓力控制系統(tǒng)能夠?qū)⑤d荷室和環(huán)境室抽至高真空狀態(tài)，此外還可以調(diào)節(jié)載荷室內(nèi)環(huán)境壓力。它由機械泵、分子泵、限流閥、壓控儀、氣體流量計等部件組成。其中限流閥、壓控儀用于腔室內(nèi)壓力的控制，氣體流量計用于調(diào)節(jié)補氣流量大小。

    系統(tǒng)控制邏輯如圖4所示。壓控儀接收參數(shù)設置信號，與薄膜規(guī)測量信號進行比較，根據(jù)比較結果調(diào)節(jié)限流閥開度的大小，經(jīng)過不斷地調(diào)節(jié)控制*終達到動態(tài)平衡，使得載荷室內(nèi)氣壓等于設定壓力值。此外，可以根據(jù)設定壓力的大小調(diào)節(jié)補氣閥開度大小，例如若要達到一個較大的壓力值，則可以適當增大補氣流量，使得載荷室內(nèi)氣壓更快地上升到設定壓力。

3) 溫度控制系統(tǒng)

    系統(tǒng)采用鎳鉻加熱板加熱，通過調(diào)節(jié)加熱電流的大小達到控溫的目的。加熱電源采用PID控制系統(tǒng)，可以使載荷室從室溫快速加溫到800℃，并且溫度可調(diào)、控溫。

4) 水冷循環(huán)系統(tǒng)

    系統(tǒng)配有水冷循環(huán)系統(tǒng)用于系統(tǒng)整體的冷卻，其中載荷室配置TC WS制冷循環(huán)水機，控溫范圍為10～27℃，給腔室、分子泵等提供穩(wěn)定的制冷循環(huán)水，保證設備穩(wěn)定運行。

(2) 上位機人機軟件

    為了方便高溫微壓力傳感器的儀器校準試驗，我們使用FameView組態(tài)軟件編寫了上位機人機軟件。該軟件主要用于實時監(jiān)控載荷室和環(huán)境室的壓力、溫度狀況，此外還具有數(shù)據(jù)存儲處理功能。軟件通過RS232協(xié)議與PLC進行通信，經(jīng)由PLC控制高低溫真空試驗裝置各個組件，實現(xiàn)了通過計算機遠程控制的目的。

    圖5為該軟件載荷室壓力監(jiān)控界面，當壓力設定增大時，由于需要補氣故響應速度較慢，相比之下，壓力設定減小時響應迅速。

我們選用的PLC為臺達公司的DVP32EH，附加8路AD和DA模塊，使用Delta_ WPLSoft_ V2.33軟件編寫PLC控制程序，程序內(nèi)容包括PLC對高低溫試驗裝置各個組件例如抽氣泵、閥門、加熱開關等的邏輯控制，數(shù)據(jù)的讀出和寫人以及其他相關功能。

3、傳感器的儀器校準實驗

(1) 儀器校準實驗過程

    傳感器的校準實驗是為了測試高溫微壓力傳感器在不同溫度環(huán)境下，尤其是在高溫環(huán)境下能否保持較高的測量精度和重復性，進而根據(jù)實驗數(shù)據(jù)對傳感器進行儀器校準，使得傳感器能夠在溫度變化的環(huán)境下保持較高的測量精度和測量重復性。

    儀器校準實驗按照校準原理可分為以下環(huán)節(jié):①測試傳感器在不同溫度下的壓力敏感性能;②測試傳感器輸出與環(huán)境溫度之間的關系，并以此對傳感器進行校準，對溫度的影響作出補償;③壓力、溫度復合加載試驗，測試校準后的傳感器能否滿足實際的應用需求。

如果不符合要求則需要重新校準，結果仍不理想則表明傳感器自身存在缺陷，需要進一步優(yōu)化設計。

    由上述可知，傳感器的校準需要大量的實驗，受篇幅所限在此不多贅述，故這里只測試傳感器在不同溫度下的壓力敏感性能，目的是驗證該儀器校準實驗系統(tǒng)是否達到期望的使用要求。

(2) 實驗結果

    調(diào)節(jié)載荷室溫度至30℃，保持溫度恒定的同時逐步增大壓力，記錄反射光波長，反復測量3次;提高載荷室腔內(nèi)溫度至250℃，重復上述實驗。實驗數(shù)據(jù)如表1所示。

經(jīng)過計算，在30℃溫度環(huán)境下，傳感器非線性為1.77%，重復性為1.31%，綜合精度為3.07%;而在250℃高溫環(huán)境下，傳感器非線性為3.05%，重復性為2.07，綜合精度為5.12%。以上結果表明，溫度升高對實驗傳感器的輸出有較明顯的影響，整體性能也有所降低。此外，通過此次儀器校準實驗，很好地驗證了該校準實驗系統(tǒng)的使用性能，在實驗過程中，載荷室內(nèi)溫度能長時間穩(wěn)定在設定值±2℃的范圍內(nèi)，壓力調(diào)節(jié)方便可靠，能較快地達到設定氣壓值，并穩(wěn)定在設定值10.2Pa的范圍內(nèi)。

    綜上所述，該儀器校準實驗系統(tǒng)使此次校準實驗進行順利，很好地滿足了實際需求，達到了設計要求。(szhuorq752455st)

4、結束語

    通過分析高溫光纖微壓力傳感器的測量結構和儀器校準原理，設計了一套基于高低溫試驗裝置和上位機人機軟件的校準實驗系統(tǒng)，在地面實驗室模擬了傳感器實際測壓環(huán)境，實現(xiàn)了傳感器在高溫微小壓力環(huán)境下的校準。實驗結果表明，該儀器校準實驗系統(tǒng)能很好地滿足測試需求，是一個穩(wěn)定可靠、安全便捷的測試平臺，為下一步傳感器的儀器校準工作提供了保障。

關于世通：

廣東省世通儀器檢測服務有限公司占地，實驗室面積達1200平方米。校準源齊全，擁有福祿克、惠普、安捷倫、菊水、新天等大批進口國產(chǎn)高端儀器，覆蓋校準檢測范圍廣。中心設有:力學、長度、衡器、電學、電磁、熱工、幾何量、輕工物性等*校準檢測實驗室。本校準與檢測中心可對以上類別范圍的各國儀器和相關產(chǎn)品進行校準和檢測并出具國際認可的校準證書或檢測報告。

長度計量：
長度計量校準實驗室：量傳歷史*長、標準設備*全、檢測維修能力*強的實驗室，本室共建有量塊、平直度、粗糙度、光學儀器、測繪儀器、通用量具、精密測量、三坐標測量機、圓度儀、驗光標準器組等共55項社會公用計量標準，負責本地區(qū)的幾何量的量值傳遞，提供檢測和校準服務，開展各項目計量儀器的、校準、修理。

開展的／校準項目： 量塊、平晶、干涉儀、測長儀、經(jīng)緯儀、水準儀、測厚儀、坐標測長機、光學計、投影儀、影像測繪儀、工具顯微鏡、電動輪廓儀、氣動量儀、偏擺儀、測微儀、液塑限測定儀、直角尺儀、百分表儀、千分表儀、量儀測力儀、水平儀器、水平儀零位器、測量顯微鏡、讀數(shù)顯微鏡、金相顯微鏡、光學平直儀、水平尺、電子水平儀、合象水平儀、框式水平儀、平板、平尺、寬座角尺、刀口尺、線紋鋼直角尺、角尺、卡尺、千分尺、指示表、內(nèi)徑表、杠桿表、數(shù)顯表、鋼卷尺、鋼直尺、塞尺、工程檢測尺、方箱、環(huán)規(guī)、螺紋量規(guī)、表面粗糙度樣塊、半徑樣板、螺紋樣板、滑板式汽車側滑檢驗臺、輪偏檢測儀、線纜計米器、線速激光測徑。對有關長度、角度、粗糙度、平面度、線紋、端度、形狀與相互位置的量值進行校準。