技術(shù)參數(shù)：
1.分辨率：1.0nm(15kV)/1.4nm(1kV)
2.加速電壓：0.1KV-30kV
3.放大倍數(shù)：25-100萬倍
4.樣品室尺寸：*200mm直徑樣品
5.束流強(qiáng)度：10-13到2X10-9


主要特點(diǎn)：
1.主動(dòng)式減震器
2.磁懸浮分子泵系統(tǒng)，無需UPS保護(hù)
3.標(biāo)配的五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)全對中樣品臺
4.全自動(dòng)樣品更換氣鎖
5.全自動(dòng)樣品監(jiān)控系統(tǒng)
6.全自動(dòng)物鏡光闌
7.多通道顯示系統(tǒng)
8.自動(dòng)減速系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)配置