煙臺市電子廠無塵車間潔凈等級標(biāo)準(zhǔn)主要內(nèi)容--天津中達(dá)檢測濟(jì)南分公司   　　廠房潔凈度檢測，潔凈車間檢測需要間隔多久一次?　　為了保證潔凈車間或潔凈區(qū)運(yùn)行中始終符合要求，潔凈車間(區(qū))檢測的基本內(nèi)容包含空氣潔凈度等級、靜壓差和風(fēng)速、風(fēng)量的測定?！稘崈魪S房設(shè)計規(guī)范》規(guī)定：空氣潔凈度等級≤5級，空氣潔凈度等級測試*長時間間隔為6個月;空氣潔凈度等級>5級，空氣潔凈度等級測試*長時間間隔為12個月;靜壓差和風(fēng)量(風(fēng)速)測試*長時間間隔為12個月;溫度、相對濕度、噪聲的*長檢測間隔時間為12個月。

　電子制造業(yè)廠潔凈室檢測要求潔凈度等級、風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)等按需要進(jìn)行控制。潔凈室的照度和截面風(fēng)速按設(shè)計或規(guī)范控制。另外，這類潔凈室對靜電的要求非常高。嚴(yán)格的。其中，對濕度的要求更為嚴(yán)格。

電子廠無塵車間潔凈等級標(biāo)準(zhǔn) 目前對于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)車間空調(diào)系統(tǒng)具有以下特點(diǎn)：1、大規(guī)模集成電路工藝布置多采用開放環(huán)境結(jié)合微環(huán)境的方法，在保證產(chǎn)品質(zhì)量的同時，還可達(dá)到減少建設(shè)投資、降低運(yùn)行費(fèi)用的目的。2、對于空氣潔凈度等級為1-5級時，基本上采用單向流或混合流；空氣潔凈度等級為6-9級時，基本上采用非單向流。3、為有效降低能耗、降低空氣處理時冷熱抵消現(xiàn)象，對于新風(fēng)系統(tǒng)常采用集中處理形式。

在電子潔凈廠房高能效過濾器的應(yīng)用上，電子凈化工程嚴(yán)格依照規(guī)定在潔凈度10萬級或高于10萬級以上的空氣凈化處理，應(yīng)采用初效、中效、高能效過濾器的三個等級過濾。而我們在某潔凈工程驗(yàn)證過程中，某電子潔凈廠房工程在萬級的凈化級別上，采用亞高能效空氣過濾器代替高能效空氣過濾器，造成了潔凈度不合格，*終更換了高能效過濾器，才符合需要達(dá)到的標(biāo)準(zhǔn)。

因?yàn)樵谶^于干燥的廠房內(nèi)容易產(chǎn)生靜電，會損壞CMOS集成度。一般來說，電子車間的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對濕度應(yīng)控制在50-60之間（特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定）。此時，能有效消除靜電，讓人心情舒暢。芯片生產(chǎn)車間、集成電路潔凈室和磁盤制造車間是電子制造潔凈室的重要組成部分。  十萬級車間的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)是大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得過3500000個，大或等于5微米的粒子數(shù)不得過20000個；萬級車間的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)是直徑大于等于0.5μ的塵粒數(shù)不能過350000個，直徑大于5μ的塵粒數(shù)不能過2000個；

電子廠無塵車間潔凈等級標(biāo)準(zhǔn)  10萬凈化車間有以下標(biāo)準(zhǔn)，中標(biāo)凈化工程整塵埃粒子*允許數(shù)（每立方米）：等于0.5微米的粒子數(shù)不能出3500000個，大或等于5微米的粒子數(shù)不能出20000個； 微生物*允許數(shù)（每立方米）：浮游菌數(shù)不能出500個；菌數(shù)不能出10個每培養(yǎng)皿。壓差：相同潔凈度等級的潔凈車間壓差保持一致，對于不同潔凈等級的相鄰潔凈車間之間壓差要≥5Pa，潔凈車間與非潔凈車間之間要≥10Pa。10萬級凈化車間工作環(huán)境規(guī)定： 10萬級無塵室對溫度、濕度無特殊要求時，以穿著潔凈服不產(chǎn)生舒適感為宜，溫度一般控制在秋冬季20~22℃；春夏季24~26℃；波動±2℃。秋冬季潔凈車間空氣濕度控制在30-50%，春夏季潔凈車間空氣濕度控制在50-70%。

10萬級室內(nèi)空氣參數(shù)需求： 1.新風(fēng)量大。由于這類車間內(nèi)，人員比較多，能夠依據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的*值：非單向流潔凈室送風(fēng)量的10-30%;補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和堅持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量；確保室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量≥40m3 /h。

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