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鍍層測厚儀在IC載板/引線支架行業(yè)的應(yīng)用
集成電路(integrated circuit)是一種微型化的電子器件或組件。通過特定的制造工藝,將晶體管、二極管、電阻、電容和電感等電子元件以及它們之間的連線集成在一塊或幾塊半導(dǎo)體晶片或介質(zhì)基片上,隨后封裝于一個外殼內(nèi),形成一個具備特定電路功能的微小結(jié)構(gòu)。
作為集成電路芯片的載體,引線框架扮演著連接外部導(dǎo)線的關(guān)鍵角色。在大多數(shù)半導(dǎo)體集成塊中,引線框架是不可或缺的,它是電子信息產(chǎn)業(yè)中至關(guān)重要的基礎(chǔ)材料。封裝基板,通常簡稱為SUB(Substrate),為芯片提供必要的電連接、保護(hù)、支撐、散熱和組裝功能。它使得芯片能夠?qū)崿F(xiàn)多引腳化,減小封裝產(chǎn)品的體積,提升電性能和散熱效率,以及實(shí)現(xiàn)高密度集成或多芯片模塊化的目標(biāo)。
幾納米涂鍍層厚度對儀器精度要求極高,對于較薄的涂層,正確處理由基底材料產(chǎn)生的熒光信號也更為重要。其次隨著封裝工藝的發(fā)展,引線的引腳數(shù)目原來越多,尺寸也越來越小,傳統(tǒng)的XRF測量儀器很難聚焦到如此微小的區(qū)域并進(jìn)行準(zhǔn)確的測量。
T650是佳譜儀器精心設(shè)計(jì)、匠心打造的一款膜厚儀,采用多導(dǎo)毛細(xì)光學(xué)系統(tǒng)的X射線光譜儀不僅可以將X光束縮小至10μm,同時得到數(shù)千倍的強(qiáng)度增益,大大降低了XRF檢出限極大程度保證了納米級薄鍍層測試的準(zhǔn)確性及穩(wěn)定性,因此被廣泛應(yīng)用于IC引線框架和基板的鍍層檢測中。
1、多導(dǎo)毛細(xì)光學(xué)系統(tǒng)和高性能SDD探測器:區(qū)別金屬準(zhǔn)直,多導(dǎo)毛細(xì)管可將光束縮小至10 μm,同時得到數(shù)千倍的強(qiáng)度增益。可測量微小樣品的同時極大程度保證了測試的準(zhǔn)確性及穩(wěn)定性。
2、微米級小區(qū)域:在Elite-X光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)下大大降低檢出限,納米級薄鍍層均可準(zhǔn)確、可靠測試
3、全方位廣角相機(jī):樣品整體形貌一覽無余,且測試位置一鍵直達(dá)
4、搭配高分辨微區(qū)相機(jī):千倍放大*對焦測試區(qū)域,搭配XY微米級移動平臺,三維方向?qū)咕劢箿y試點(diǎn)位,誤差<±2 μm
5、多重保護(hù)系統(tǒng):V型激光保護(hù),360°無死角探入保護(hù),全方位無死角保護(hù)您的樣品不受損害,保證儀器安全可靠的運(yùn)作
6、全自動移動平臺:可編程化的操作,針對同一類型樣品,首次編程測試點(diǎn)位,同一類樣品自動尋路直接測試
7、人性化的軟件:搭配EFP核心算法軟件,人機(jī)交互,智慧操作
8、可搭配全自動進(jìn)送樣系統(tǒng),與您的產(chǎn)線*配合