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首頁 >深圳市京都玉崎電子有限公司> 技術(shù)文章> 什么是真空計
什么是真空計
2024/11/21 08:52:03
真空計是測量一定空間內(nèi)真空度的傳感器。
根據(jù)用途，選擇分壓真空計或全壓真空計。另外，測量方法有很多種，可測量的真空范圍根據(jù)這些差異而變化。
真空計的應用實例
真空空間通常用于需要高清潔度的制造場所，因為可以*地減少包括水分在內(nèi)的雜質(zhì)。其中，真空計安裝在與需要真空達到控制的腔室和石英管連接的流體回路中。
真空計通常安裝在半導體制造設備的等離子蝕刻空間以及冶金、有機合成等實驗設備中。它還用于需要表面清潔度的場合，例如離子束設備、氣相沉積設備以及其他需要表面清潔度的應用。
真空計原理
真空計的類型和測量原理有很多種。真空計*地測量了少量氣體分子的動量，并將其轉(zhuǎn)換為氣體密度和空間真空度。*的真空計是皮拉尼真空計。
皮拉尼真空計是一種電阻式真空計，可根據(jù)氣體與攜帶電流的鉑絲碰撞時損失的熱能計算出電流，然后根據(jù)該值計算出壓力。其機制是，這一微小壓力直接對應于真空度。
如何選擇真空計
真空計有多種類型，因此您需要選擇*適合您用途的一種。由于特性因使用類型和測量方法而異，因此了解每種特性非常重要。
此外，真空計有多種類型，因此您需要根據(jù)要測量的真空空間的真空度來選擇一種真空計。如果您想保證*終的真空度，一個真空計就足夠了，但如果您想了解真空泵的行為，例如抽氣速度，則需要安裝多個真空度。
真空計的類型
真空計根據(jù)用途、測量方法、測量范圍可分為多種類型。
1. 按用途
分壓真空計
選擇分壓真空計僅測量個別氣體的真空度。當兩種或多種氣體混合時，每種氣體所表現(xiàn)出的壓力就是分壓。
它用于分析真空質(zhì)量，因為即使在相同壓力下，性能也會根據(jù)氣體類型而有所不同。質(zhì)譜儀是一種常見的分壓真空計。
質(zhì)譜儀由三部分組成：離子源、分析部分和檢測部分。通過使用電場和磁場，可以通過僅觀察特定離子來確定每種氣體的壓力。
全壓真空表
當您想簡單地測量空間的真空度時，請選擇全壓真空計。根據(jù)測量方法的不同，有多種類型，因此有必要選擇一種適合您的用途的類型。
2.測量方法
測量方法主要分為三種類型。這些是“檢測壓力本身的方法”、“利用氣體傳輸現(xiàn)象的方法”和“利用氣體中的電離現(xiàn)象的方法”。
如何檢測壓力本身
U型管真空計是一種利用壓力本身檢測的真空計。 U型真空計是一種差壓表，由一端抽真空并密封的玻璃U型管制成。
氣體壓力差可以從壓力差引起的液柱高度讀取。 U型真空計的之處在于它不屬于氣體類型。因此，它被用作其他真空計的校準標準，因為它允許*測量壓力。
利用氣體傳輸現(xiàn)象的方法
熱傳導真空計是利用氣體傳輸現(xiàn)象的真空計。這是利用氣體的熱導率根據(jù)壓力而變化的特性的真空計。
熱傳導真空計有多種類型，包括皮拉尼真空計、熱敏電阻真空計和熱電偶真空計。關(guān)于熱傳導真空計需要注意的重要一點是，在高真空下，熱輻射的影響變得大于熱導率的影響。因此，熱導真空計的缺點是不能用于高真空測量。
利用氣體中的電離現(xiàn)象的方法
利用氣體電離現(xiàn)象的真空管包括潘寧真空計（冷陰極電離真空計）和離子計（熱陰極電離真空計）。彭寧真空計可以利用真空中的放電現(xiàn)象來測量壓力。雖然具有優(yōu)異的耐久性，但其靈敏度根據(jù)氣體種類的不同而有很大差異。
潘寧真空計的優(yōu)點是電路配置簡單。另一方面，其缺點是潘寧放電不穩(wěn)定，難以高精度測量。此外，如果表面污染嚴重，則從陰極發(fā)射的電子量會減少，導致無法放電，并且如果陰極處于高真空中，則可能難以開始放電。
3、測量范圍
壓力分為低真空、中真空、高真空、高真空等真空度，根據(jù)真空計的類型不同，測量真空度也不同。根據(jù)JIS（日本工業(yè)標準），真空度根據(jù)壓力范圍分為如下所示的五類。皮拉尼真空計可以測量低真空到中真空，電離真空計可以測量中真空到高真空。
低真空：10 5 Pa～10 2 Pa
中真空：10 2 Pa～10 -1 Pa
高真空：10 -1 Pa～10 -5 Pa
高真空：-5 Pa至1 0-8 Pa
極高真空：10 -8 Pa以下
根據(jù)用途，選擇分壓真空計或全壓真空計。另外，測量方法有很多種，可測量的真空范圍根據(jù)這些差異而變化。
真空計的應用實例
真空空間通常用于需要高清潔度的制造場所，因為可以*地減少包括水分在內(nèi)的雜質(zhì)。其中，真空計安裝在與需要真空達到控制的腔室和石英管連接的流體回路中。
真空計通常安裝在半導體制造設備的等離子蝕刻空間以及冶金、有機合成等實驗設備中。它還用于需要表面清潔度的場合，例如離子束設備、氣相沉積設備以及其他需要表面清潔度的應用。
真空計原理
真空計的類型和測量原理有很多種。真空計*地測量了少量氣體分子的動量，并將其轉(zhuǎn)換為氣體密度和空間真空度。*的真空計是皮拉尼真空計。
皮拉尼真空計是一種電阻式真空計，可根據(jù)氣體與攜帶電流的鉑絲碰撞時損失的熱能計算出電流，然后根據(jù)該值計算出壓力。其機制是，這一微小壓力直接對應于真空度。
如何選擇真空計
真空計有多種類型，因此您需要選擇*適合您用途的一種。由于特性因使用類型和測量方法而異，因此了解每種特性非常重要。
此外，真空計有多種類型，因此您需要根據(jù)要測量的真空空間的真空度來選擇一種真空計。如果您想保證*終的真空度，一個真空計就足夠了，但如果您想了解真空泵的行為，例如抽氣速度，則需要安裝多個真空度。
真空計的類型
真空計根據(jù)用途、測量方法、測量范圍可分為多種類型。
1. 按用途
分壓真空計
選擇分壓真空計僅測量個別氣體的真空度。當兩種或多種氣體混合時，每種氣體所表現(xiàn)出的壓力就是分壓。
它用于分析真空質(zhì)量，因為即使在相同壓力下，性能也會根據(jù)氣體類型而有所不同。質(zhì)譜儀是一種常見的分壓真空計。
質(zhì)譜儀由三部分組成：離子源、分析部分和檢測部分。通過使用電場和磁場，可以通過僅觀察特定離子來確定每種氣體的壓力。
全壓真空表
當您想簡單地測量空間的真空度時，請選擇全壓真空計。根據(jù)測量方法的不同，有多種類型，因此有必要選擇一種適合您的用途的類型。
2.測量方法
測量方法主要分為三種類型。這些是“檢測壓力本身的方法”、“利用氣體傳輸現(xiàn)象的方法”和“利用氣體中的電離現(xiàn)象的方法”。
如何檢測壓力本身
U型管真空計是一種利用壓力本身檢測的真空計。 U型真空計是一種差壓表，由一端抽真空并密封的玻璃U型管制成。
氣體壓力差可以從壓力差引起的液柱高度讀取。 U型真空計的之處在于它不屬于氣體類型。因此，它被用作其他真空計的校準標準，因為它允許*測量壓力。
利用氣體傳輸現(xiàn)象的方法
熱傳導真空計是利用氣體傳輸現(xiàn)象的真空計。這是利用氣體的熱導率根據(jù)壓力而變化的特性的真空計。
熱傳導真空計有多種類型，包括皮拉尼真空計、熱敏電阻真空計和熱電偶真空計。關(guān)于熱傳導真空計需要注意的重要一點是，在高真空下，熱輻射的影響變得大于熱導率的影響。因此，熱導真空計的缺點是不能用于高真空測量。
利用氣體中的電離現(xiàn)象的方法
利用氣體電離現(xiàn)象的真空管包括潘寧真空計（冷陰極電離真空計）和離子計（熱陰極電離真空計）。彭寧真空計可以利用真空中的放電現(xiàn)象來測量壓力。雖然具有優(yōu)異的耐久性，但其靈敏度根據(jù)氣體種類的不同而有很大差異。
潘寧真空計的優(yōu)點是電路配置簡單。另一方面，其缺點是潘寧放電不穩(wěn)定，難以高精度測量。此外，如果表面污染嚴重，則從陰極發(fā)射的電子量會減少，導致無法放電，并且如果陰極處于高真空中，則可能難以開始放電。
3、測量范圍
壓力分為低真空、中真空、高真空、高真空等真空度，根據(jù)真空計的類型不同，測量真空度也不同。根據(jù)JIS（日本工業(yè)標準），真空度根據(jù)壓力范圍分為如下所示的五類。皮拉尼真空計可以測量低真空到中真空，電離真空計可以測量中真空到高真空。
低真空：10 5 Pa～10 2 Pa
中真空：10 2 Pa～10 -1 Pa
高真空：10 -1 Pa～10 -5 Pa
高真空：-5 Pa至1 0-8 Pa
極高真空：10 -8 Pa以下
