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什么是干泵

2024/11/21 08:59:08

干泵是不使用油或其他液體產(chǎn)生真空的各種真空泵的稱。

干泵是與濕泵形成對(duì)比的名稱，濕泵使用油等來(lái)產(chǎn)生真空。有羅茨式干泵、渦旋式干泵、爪式干泵、隔膜式干泵等幾種不同機(jī)理的類型。

此外，與旋轉(zhuǎn)泵不同，它不會(huì)排放油霧，因此適合在清潔環(huán)境中使用。

干泵使用
干泵主要應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)線、食品加工線以及電子顯微鏡等各種科學(xué)分析設(shè)備。在這些應(yīng)用中，必須避免使用環(huán)境的污染。干泵*的特點(diǎn)是廢氣中不會(huì)有油霧的污染，因此干泵適合需要清潔環(huán)境的應(yīng)用。

但干泵的極限真空度約為1Pa，并不算高。當(dāng)需要高真空時(shí)，與渦輪分子泵或離子泵組合使用。另外，不同類型的抽速也不同，因此需要根據(jù)用途選擇合適的類型。

干泵原理
干泵有多種類型，但許多都屬于氣體輸送類型。所有氣體輸送泵均具有用于吸入氣體的進(jìn)氣口和用于排出氣體的排氣口，通過(guò)將從進(jìn)氣口吸入的氣體排出并從排氣口排出，從而排出泵內(nèi)的氣體。

它是一種通過(guò)輸送各種氣體來(lái)減少空間中的氣體量并產(chǎn)生真空的機(jī)制。與干泵相比，濕泵在輸送氣體時(shí)使用液壓油或液壓油來(lái)完全密封真空泵的內(nèi)部。

除密封外，液壓油還具有減少零件之間的磨損和摩擦、吸收氣體壓縮時(shí)產(chǎn)生的壓縮熱以及防止泵零件生銹的作用。

干泵的類型
干泵輸送氣體有多種結(jié)構(gòu)。干泵的主要類型是容積式，其中旋轉(zhuǎn)式是*的類型。

1.葉片泵
葉片泵是一種裝有多個(gè)葉片（稱為葉片）的氣缸在圓形空間內(nèi)旋轉(zhuǎn)，使葉片抽出空間內(nèi)的空氣的泵。葉片中產(chǎn)生的離心力使葉片的*與圓形空間的壁接觸，形成密封空間。

2. 爪式泵
爪式泵有兩個(gè)并排布置的稱為爪的爪形轉(zhuǎn)子，爪在相反方向旋轉(zhuǎn)的同時(shí)排出氣體。氣體被壓縮并排出泵外。

3.多級(jí)羅茨泵
多級(jí)羅茨泵也是一種利用一對(duì)反向旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子將吸入的氣體排出到泵外部的泵。轉(zhuǎn)子具有橫截面為繭形的葉片。

4、渦旋泵
渦旋泵是通過(guò)在具有相同螺旋壁的固定渦旋件內(nèi)旋轉(zhuǎn)繞動(dòng)渦旋件來(lái)輸送氣體的泵。

5.螺桿泵
螺桿泵是由一到三個(gè)螺桿和容納螺桿的外殼組成的泵。當(dāng)螺桿旋轉(zhuǎn)時(shí)，氣體被推過(guò)外殼并排出。

除上述旋轉(zhuǎn)式外，還有往復(fù)式容積式干泵。往復(fù)運(yùn)動(dòng)的部件包括隔膜、活塞和波紋管。

干泵特點(diǎn)
干泵在氣體通過(guò)的路徑中沒(méi)有液壓油。無(wú)需擔(dān)心油霧進(jìn)入廢氣或油蒸發(fā)擴(kuò)散到真空容器中。干泵的一個(gè)主要特點(diǎn)是它們提供清潔的排氣和真空空間。

另一大優(yōu)點(diǎn)是無(wú)需定期補(bǔ)油或更換等維護(hù)。干泵還具有體積小、重量輕、振動(dòng)小、噪音低等特點(diǎn)。

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