推薦資料
更多
- ·3RQ0081-1AF20 西門子耦...
- ·3RQ0081-1AG20 西門子耦...
- ·防爆控制柜型號(hào)
- ·三菱PLCFX3U-485-BD代理
- ·HYDAC賀德克電磁閥WSM0602...
- ·山東萊西咖啡廳空氣檢測(cè)
- ·3RQ0101-1BF20 西門子耦...
- ·防爆PLC控制柜價(jià)格
- ·3RQ0105-0AA40 西門子耦...
- ·3RQ0105-0AW40 西門子耦...
- ·3RQ0101-2BW30 西門子耦...
- ·防爆型控制柜型號(hào)
- ·3RQ0105-2BA40 西門子耦...
- ·荊州公安縣幾何量計(jì)量檢測(cè)/獲*CNA...
- ·三菱模塊FX3U-485ADP-MB...
首頁(yè) >深圳市京都玉崎電子有限公司> 技術(shù)文章> 什么是干泵
什么是干泵
2024/11/21 08:59:08
干泵是不使用油或其他液體產(chǎn)生真空的各種真空泵的稱。
干泵是與濕泵形成對(duì)比的名稱,濕泵使用油等來(lái)產(chǎn)生真空。有羅茨式干泵、渦旋式干泵、爪式干泵、隔膜式干泵等幾種不同機(jī)理的類型。
此外,與旋轉(zhuǎn)泵不同,它不會(huì)排放油霧,因此適合在清潔環(huán)境中使用。
干泵使用
干泵主要應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)線、食品加工線以及電子顯微鏡等各種科學(xué)分析設(shè)備。在這些應(yīng)用中,必須避免使用環(huán)境的污染。干泵*的特點(diǎn)是廢氣中不會(huì)有油霧的污染,因此干泵適合需要清潔環(huán)境的應(yīng)用。
但干泵的極限真空度約為1Pa,并不算高。當(dāng)需要高真空時(shí),與渦輪分子泵或離子泵組合使用。另外,不同類型的抽速也不同,因此需要根據(jù)用途選擇合適的類型。
干泵原理
干泵有多種類型,但許多都屬于氣體輸送類型。所有氣體輸送泵均具有用于吸入氣體的進(jìn)氣口和用于排出氣體的排氣口,通過(guò)將從進(jìn)氣口吸入的氣體排出并從排氣口排出,從而排出泵內(nèi)的氣體。
它是一種通過(guò)輸送各種氣體來(lái)減少空間中的氣體量并產(chǎn)生真空的機(jī)制。與干泵相比,濕泵在輸送氣體時(shí)使用液壓油或液壓油來(lái)完全密封真空泵的內(nèi)部。
除密封外,液壓油還具有減少零件之間的磨損和摩擦、吸收氣體壓縮時(shí)產(chǎn)生的壓縮熱以及防止泵零件生銹的作用。
干泵的類型
干泵輸送氣體有多種結(jié)構(gòu)。干泵的主要類型是容積式,其中旋轉(zhuǎn)式是*的類型。
1.葉片泵
葉片泵是一種裝有多個(gè)葉片(稱為葉片)的氣缸在圓形空間內(nèi)旋轉(zhuǎn),使葉片抽出空間內(nèi)的空氣的泵。葉片中產(chǎn)生的離心力使葉片的*與圓形空間的壁接觸,形成密封空間。
2. 爪式泵
爪式泵有兩個(gè)并排布置的稱為爪的爪形轉(zhuǎn)子,爪在相反方向旋轉(zhuǎn)的同時(shí)排出氣體。氣體被壓縮并排出泵外。
3.多級(jí)羅茨泵
多級(jí)羅茨泵也是一種利用一對(duì)反向旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子將吸入的氣體排出到泵外部的泵。轉(zhuǎn)子具有橫截面為繭形的葉片。
4、渦旋泵
渦旋泵是通過(guò)在具有相同螺旋壁的固定渦旋件內(nèi)旋轉(zhuǎn)繞動(dòng)渦旋件來(lái)輸送氣體的泵。
5.螺桿泵
螺桿泵是由一到三個(gè)螺桿和容納螺桿的外殼組成的泵。當(dāng)螺桿旋轉(zhuǎn)時(shí),氣體被推過(guò)外殼并排出。
除上述旋轉(zhuǎn)式外,還有往復(fù)式容積式干泵。往復(fù)運(yùn)動(dòng)的部件包括隔膜、活塞和波紋管。
干泵特點(diǎn)
干泵在氣體通過(guò)的路徑中沒(méi)有液壓油。無(wú)需擔(dān)心油霧進(jìn)入廢氣或油蒸發(fā)擴(kuò)散到真空容器中。干泵的一個(gè)主要特點(diǎn)是它們提供清潔的排氣和真空空間。
另一大優(yōu)點(diǎn)是無(wú)需定期補(bǔ)油或更換等維護(hù)。干泵還具有體積小、重量輕、振動(dòng)小、噪音低等特點(diǎn)。
干泵是與濕泵形成對(duì)比的名稱,濕泵使用油等來(lái)產(chǎn)生真空。有羅茨式干泵、渦旋式干泵、爪式干泵、隔膜式干泵等幾種不同機(jī)理的類型。
此外,與旋轉(zhuǎn)泵不同,它不會(huì)排放油霧,因此適合在清潔環(huán)境中使用。
干泵使用
干泵主要應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)線、食品加工線以及電子顯微鏡等各種科學(xué)分析設(shè)備。在這些應(yīng)用中,必須避免使用環(huán)境的污染。干泵*的特點(diǎn)是廢氣中不會(huì)有油霧的污染,因此干泵適合需要清潔環(huán)境的應(yīng)用。
但干泵的極限真空度約為1Pa,并不算高。當(dāng)需要高真空時(shí),與渦輪分子泵或離子泵組合使用。另外,不同類型的抽速也不同,因此需要根據(jù)用途選擇合適的類型。
干泵原理
干泵有多種類型,但許多都屬于氣體輸送類型。所有氣體輸送泵均具有用于吸入氣體的進(jìn)氣口和用于排出氣體的排氣口,通過(guò)將從進(jìn)氣口吸入的氣體排出并從排氣口排出,從而排出泵內(nèi)的氣體。
它是一種通過(guò)輸送各種氣體來(lái)減少空間中的氣體量并產(chǎn)生真空的機(jī)制。與干泵相比,濕泵在輸送氣體時(shí)使用液壓油或液壓油來(lái)完全密封真空泵的內(nèi)部。
除密封外,液壓油還具有減少零件之間的磨損和摩擦、吸收氣體壓縮時(shí)產(chǎn)生的壓縮熱以及防止泵零件生銹的作用。
干泵的類型
干泵輸送氣體有多種結(jié)構(gòu)。干泵的主要類型是容積式,其中旋轉(zhuǎn)式是*的類型。
1.葉片泵
葉片泵是一種裝有多個(gè)葉片(稱為葉片)的氣缸在圓形空間內(nèi)旋轉(zhuǎn),使葉片抽出空間內(nèi)的空氣的泵。葉片中產(chǎn)生的離心力使葉片的*與圓形空間的壁接觸,形成密封空間。
2. 爪式泵
爪式泵有兩個(gè)并排布置的稱為爪的爪形轉(zhuǎn)子,爪在相反方向旋轉(zhuǎn)的同時(shí)排出氣體。氣體被壓縮并排出泵外。
3.多級(jí)羅茨泵
多級(jí)羅茨泵也是一種利用一對(duì)反向旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子將吸入的氣體排出到泵外部的泵。轉(zhuǎn)子具有橫截面為繭形的葉片。
4、渦旋泵
渦旋泵是通過(guò)在具有相同螺旋壁的固定渦旋件內(nèi)旋轉(zhuǎn)繞動(dòng)渦旋件來(lái)輸送氣體的泵。
5.螺桿泵
螺桿泵是由一到三個(gè)螺桿和容納螺桿的外殼組成的泵。當(dāng)螺桿旋轉(zhuǎn)時(shí),氣體被推過(guò)外殼并排出。
除上述旋轉(zhuǎn)式外,還有往復(fù)式容積式干泵。往復(fù)運(yùn)動(dòng)的部件包括隔膜、活塞和波紋管。
干泵特點(diǎn)
干泵在氣體通過(guò)的路徑中沒(méi)有液壓油。無(wú)需擔(dān)心油霧進(jìn)入廢氣或油蒸發(fā)擴(kuò)散到真空容器中。干泵的一個(gè)主要特點(diǎn)是它們提供清潔的排氣和真空空間。
另一大優(yōu)點(diǎn)是無(wú)需定期補(bǔ)油或更換等維護(hù)。干泵還具有體積小、重量輕、振動(dòng)小、噪音低等特點(diǎn)。