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首頁 >北崎國際貿(mào)易(北京)有限公司> 技術(shù)文章> HORIBA掘場VG-200S電容壓力計(jì) 隔膜真空計(jì)北崎供應(yīng)
HORIBA掘場VG-200S電容壓力計(jì) 隔膜真空計(jì)北崎供應(yīng)
2025/02/12 11:57:14
HORIBA掘場VG-200S電容壓力計(jì) 隔膜真空計(jì)北崎供應(yīng)
HORIBA掘場VG-200S電容壓力計(jì) 隔膜真空計(jì)北崎供應(yīng)
在線壓力測量是許多行業(yè)不可或缺的技術(shù),包括半導(dǎo)體、平板顯示器、光伏板、硬盤和涂層。 電容壓力計(jì)通過與對面電極的電容測量由隔膜兩側(cè)(稱為隔膜)之間的壓力差引起的位移量,并將其轉(zhuǎn)換為壓力。 與其他壓力測量方法相比,電容壓力計(jì)具有以下特點(diǎn):
- *壓力測量
- 高精度和*的穩(wěn)定性
-
測量不受氣體類型的影響
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HORIBA 的 VG-200S 電容壓力計(jì)是*小的自溫控真空計(jì)。 的電極結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了高精度和高穩(wěn)定性。
- 自控型和*小級
- 的電極結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了高精度和高穩(wěn)定性
- SUS316L用于氣體接觸部分,包括隔膜。
- 不加熱,55°C溫控,可選擇100°C溫控
- 一推零
- 電源 ±15 VDC, 24 VDC
- 符合 CE、RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
型 | VG-211S 系列 | VG-221S 系列 | ||
F.S. 測量范圍 | 133.32帕斯 (A) |
1.3332 kPa (A) 13.332 kPa (A) 133.32 kPa (A) |
133.32帕斯 (A) |
1.3332 kPa (A) 13.332 kPa (A) 133.32 kPa (A) |
傳感器的溫度控制 *1 | 室溫(無加熱器) | 55°C / 100°C | ||
精度 *2 | 0.5% R.S. | 0.25% R.S. | 0.5% R.S. | 0.25% R.S. |
分辨率 | 0.03% F.S. | 0.01% F.S. | 0.03% F.S. | 0.01% F.S. |
零溫度系數(shù) | 0.01% F.S./°C | 0.005% F.S./°C | 0.005% 滿量程 /°C | 0.0025% 滿量程 /°C |
跨度溫度系數(shù) | 0.05% 讀數(shù)/°C | 0.03% 讀數(shù)/°C | 0.03% 讀數(shù)/°C | 0.02% 讀數(shù) /°C |
響應(yīng)時(shí)間 | < 60 毫秒 | |||
工作溫度范圍 *3 | 10-50°C | |||
氣體接觸材料 | SUS316L | |||
加壓極限 | 300kPA (A) | 350kPa (A) | 300kPa (A) | 350kPa (A) |
輸出信號 | 0-10VDC 負(fù)載電阻:>10kΩ | |||
輸入/輸出連接器 | D-Sub 15 針 | |||
電源電壓 | +15VDC±5%、* 0.1A -15VDC±5%、* 0.1A | +15VDC±5%,* 0.6A。 -15VDC±5%,* 0.6A。 | ||
24VDC±5%,* 2.4W | 24VDC±5%,* 22W | |||
預(yù)熱時(shí)間 | 15 分鐘 |
60 分鐘(55°C 溫控型) 120 分鐘(100°C 溫控型) |
||
集電極開路輸出 | 額定電壓:30V 額定電流:50mA | |||
重新歸零輸入 | 無電壓觸點(diǎn)輸入 觸點(diǎn)開路電壓:13V *觸點(diǎn)電流:1.3mA | |||
標(biāo)準(zhǔn)配件 *4 | KF16, 1/2 英寸 VCR 母頭, ICF34, 1/4 英寸 VCR 母頭 |
*1 請?jiān)谟嗁彆r(shí)溫度控制類型和溫度。
*2 包括線性度、滯后性和重現(xiàn)性。 (環(huán)境溫度為 25°C 時(shí))
*3 如果產(chǎn)品周圍有熱源,或者多個(gè)產(chǎn)品非常接近,則環(huán)境溫度可能會過規(guī)定的環(huán)境溫度。
*4 請?jiān)谟嗁彆r(shí)配件。
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