HORIBA掘場RP-1掩模版/掩模/晶圓異物去除器

HORIBA掘場RP-1掩模版/掩模/晶圓異物去除器

 

通過吹氣和真空抽吸自動(dòng)去除異物 粘附在
掩模罩上的異物空氣（或 N）2通過吹氣和真空抽吸自動(dòng)去除。 在暴露前的日常作中，每次都要去除異物，通過延長薄膜的更換和口罩的清潔周期，有助于降低運(yùn)行成本。

當(dāng)玻璃表面的異物被去除時(shí)（20 μm 硼硅酸鹽珠去除率數(shù)據(jù)）

 

 

北崎8年，日本會社20年，專注領(lǐng)域如下：
儀器相關(guān)：
山高SANKO（代理）、東機(jī)產(chǎn)業(yè)TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、東日技研DIT（代理）、杉山電機(jī)SUGIYAMA（代理）、愛安德AND(廠家合作）、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛安德AND、豪雅HOYA（代理）

備件設(shè)備相關(guān)：
柴田SIBATA(代理）、 壺坂TSUBOSAKA（代理）、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口電熱SAKAGUCHI（代理）、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（廠家合作）、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機(jī)理化EYELA、科庫森KOKUSAN

光源相關(guān)：
巖崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰寫速CCS（代理）、萊寶克斯REVOX（代理）、索萊克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龍F(tuán)UNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE

電氣控制：
SIEMENS西門子（廠家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON歐姆龍（廠家合作）、基恩士KEYENCE（廠家合作）