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HORIBA掘場EV-140C等離子體排放監(jiān)測器北崎國際
2025/02/12 13:51:11
HORIBA掘場EV-140C等離子體排放監(jiān)測器北崎國際
HORIBA掘場EV-140C等離子體排放監(jiān)測器北崎國際
這是發(fā)射光譜法的終點(diǎn)監(jiān)測器，用于檢測使用等離子體的半導(dǎo)體薄膜工藝中的終點(diǎn)或管理等離子體條件。
新開發(fā)的算法 “Rupture Intensity” 可以準(zhǔn)確檢測微弱信號變化的終點(diǎn)。
為了捕捉到發(fā)射光的微弱變化，靈敏度得到了極大的提高。
此外，通過提高抗噪性，確保 24 小時運(yùn)行的生產(chǎn)線在惡劣環(huán)境中高度穩(wěn)定運(yùn)行。
制造商： HORIBA CORPORATION
-
使用孔徑比為 F/2 的亮光柵
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2048Ch 高靈敏度、高分辨率背照式 CCD 線傳感器
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用于高級過程控制 Sigma-P 的軟件
對于希望演示的客戶
我們將借給您一套 EV-140C，以匹配您的系統(tǒng)并安心采用它。
對于給您帶來的不便，我們深表歉意，但請點(diǎn)擊下面的圖標(biāo)并輸入所需信息。
我們的工作人員將確認(rèn)所需的日期和所需的系統(tǒng)。
傳感器部分
| 分光鏡 | |
|---|---|
| 波長范圍 | 200-800 納米 |
| 光學(xué)分辨率 |
<2.0nm @λ=200-500nm <2.5nm @λ=500-700nm （FWHM 理論分解 |
| 光學(xué)工作臺 | |
|---|---|
| 設(shè)計(jì) | 平場像差校正多色儀 |
| 焦距 | 140 毫米 |
| 高階光截止濾波器 | 內(nèi)置 |
| 探測器 | |
|---|---|
| CCD 型 | 薄型背照式 CCD 線陣圖像傳感器 |
| 元素?cái)?shù) | 2048 × 64 |
| A/D 分辨率 | 16 位 |
| 曝光時間控制 |
20 毫秒至 2.5 秒 （以 10 毫秒為步長設(shè)置） |
| 一般規(guī)格 | |
|---|---|
| 測量光輸入 | 光纖輸入 |
| 傳感器單元尺寸 | 137（寬）×156（高）×257（深）毫米 |
| 傳感器質(zhì)量 | 4.0 千克 |
| 連接的腔室數(shù)量 | 1通道 |
| 電源規(guī)格 | 直流24V±10% |
| 功耗 | 12 伏安 |
| 工作環(huán)境溫度 | 15-35°C |
| 儲存環(huán)境溫度 | 0-50°C（無冷凝） |
| 工作/儲存濕度 | <80%RH@25°C（非冷凝） |
| LCD 顯示屏 | 執(zhí)行狀態(tài)/傳感器錯誤/控制器錯誤 |
| 冷卻風(fēng)扇 | DC 風(fēng)扇 |
| I/O | |
|---|---|
| ◎ 模擬輸出（根據(jù)配方實(shí)時輸出計(jì)算結(jié)果） ) | |
| 輸出端口數(shù) | 2 通道 |
| 電壓輸出 | 0-5VDC 直流 |
| ◎ 數(shù)字輸入/輸出（通過外部遠(yuǎn)程協(xié)議進(jìn)行配方設(shè)置和端點(diǎn)輸出） | |
| 數(shù)字輸出 | PIO/DI=8 位/DO=8 位 |
| 外部通用連接器 |
Dsub25S （并行 IO 端口，用于模擬輸出） |
| 控制器接口 | Erthanet ×1 端口 |
控制器（FA規(guī)格計(jì)算機(jī)）
| 大小 | 197（寬）×148（高）×250（深）毫米 |
|---|---|
| 操作系統(tǒng) | WindowsXP Embedded （英文版） |
| 中央處理器 | 賽揚(yáng) 1.3GHz |
| 主要 |
1GB |
| 硬盤 | 80GB |
| 外部接口 |
- 以太網(wǎng)×2 - RS-232C×2 |
| 電源規(guī)格 | AC90-264V 50/60±3Hz |
外部遠(yuǎn)程協(xié)議
| 遠(yuǎn)程協(xié)議 |
并行 I/O/RS232C 串行協(xié)議 *單獨(dú)支持 LAN 連接 |
|---|
| 合規(guī)標(biāo)準(zhǔn) | CE/FCC |
|---|
配件
| 光纖 | |
|---|---|
| 光纖規(guī)格 | 合成石英纖維 |
| 外部纖維等級 | VIS 用 / 紫外線用和耐光性（2 種類型可供選擇） |
| 纖維長度 | 2m/5m（2種可選） |
選項(xiàng)
| 交流電源裝置 | |
|---|---|
| 電源輸入 | AC90-264V 50/60±3Hz |
| 功率輸出 | DC24V 2A 輸出 |
| 聚焦光學(xué)元件 | |
|---|---|
| 腔室適配器 | 聚光鏡單元 |
| PC 配件 | |
|---|---|
| PC 配件 | LCD 顯示器/鍵盤/鼠標(biāo) |
| PC 的電池選項(xiàng) | |
|---|---|
| 不間斷電源 | 控制器 PC 的不間斷電源 |
