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首頁 >北崎國際貿(mào)易(北京)有限公司> 技術(shù)文章> HORIBA掘場(chǎng)CS-620F 光纖熱磷酸鹽濃度監(jiān)測(cè)儀北崎國際
HORIBA掘場(chǎng)CS-620F 光纖熱磷酸鹽濃度監(jiān)測(cè)儀北崎國際
2025/02/12 14:09:37
HORIBA掘場(chǎng)CS-620F 光纖熱磷酸鹽濃度監(jiān)測(cè)儀北崎國際
HORIBA掘場(chǎng)CS-620F 光纖熱磷酸鹽濃度監(jiān)測(cè)儀北崎國際
該磷酸濃度監(jiān)測(cè)儀無需冷卻即可實(shí)時(shí)測(cè)量高溫磷酸。
半導(dǎo)體制造工藝,主要是 3D NAND 閃存的 SiN 層※1它是控制蝕刻過程中所用磷酸濃度的理想選擇。
*1 SiN 層:在硅晶片上形成的硅和氮化合物的薄膜。
產(chǎn)品名稱 | 化學(xué)品濃度監(jiān)測(cè)儀 | ||||
---|---|---|---|---|---|
型 | CS-620F 系列 | ||||
測(cè)量原理 | 吸收光譜 | ||||
濃度計(jì)算原理 | 溫度補(bǔ)償多變量分析方法 | ||||
測(cè)量目標(biāo) | H3采購訂單4/小時(shí)2O | ||||
測(cè)量范圍和 重復(fù)精度 |
成分名稱 | 測(cè)量范圍 (mass%) | 重復(fù)精度 (mass%) | 模擬輸出范圍 (mass%) | |
*種化學(xué)溶液 | H3采購訂單4 | 85.00-92.00 | +/-0.10 | 85.00-100.00 | |
H2O | 8.0-15.0 | +/-0.3 | 0.0-15.0 | ||
?再現(xiàn)性精度由平均值的*誤差(1 小時(shí))。 ?對(duì)于相同的化學(xué)溶液,在化學(xué)溫度范圍 (140-170 °C) 內(nèi)可能會(huì)出現(xiàn)高達(dá) +/- 0.3% 的*參考值差異。 |
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測(cè)量條件 |
1) 測(cè)量間隔:約 3 秒 2) 移動(dòng)平均:16 次 |
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連接配件尺寸 | 1 英寸或 3/4 英寸 | ||||
測(cè)量液體條件 |
化學(xué)溫度:140-170°C 化學(xué) 溫度變化、環(huán)境溫度變化±1°C(1小時(shí))以內(nèi) 輸入 壓力:0.2MPa以下 壓力波動(dòng):0.02MPa以下 流量:1-30L/min |
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儀表空氣(作和吹掃) |
配合:4 mm 外徑快速配合 壓力:0.2 MPa ± 0.02 MPa |
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權(quán)力 | 100-230 V AC(單相)、50/60 Hz | ||||
功耗 | 約 85 VA(不包括啟動(dòng)瞬態(tài)電流) | ||||
通信協(xié)調(diào) | 并行 I/O、RS-232C、模擬輸出 | ||||
外形尺寸 |
(顯示器本體) 200 (W) X308 (D) X78 (H) mm (不包括突起部分) (光源單元) 200 (W) X262 (D) X100 (H) mm (不包括突起部分) (樣品池) 240 (W) X209 (D) X205 (H) mm (不包括突起部分) |
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質(zhì)量 |
(顯示器本體) 約 3.6 kg (光源單元) 約 2.8 kg (樣品池) 約 3.0 kg |
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安裝溫度 |
(監(jiān)視器和光源單元通用) 20-30°C (光纖、樣品池) 20-100°C * 室溫?zé)o突然變化,± 1 °C / 1 小時(shí)內(nèi) |
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安裝 相對(duì)濕度 | 40-70 % (非冷凝) | ||||
安裝傾斜角度 |
(顯示器和光源單元通用) ± 1° 以內(nèi)( 樣品池) 安裝池,使其向上流動(dòng),使氣泡不會(huì)停滯 |
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光纖 |
標(biāo)準(zhǔn)長度 5 m,*小彎曲半徑 150 mm |
