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北崎供應(yīng)EBARA 荏原 CMP設(shè)備 F-REX
2025/03/13 08:57:40
北崎供應(yīng)EBARA 荏原 CMP設(shè)備 F-REX
北崎供應(yīng)EBARA 荏原 CMP設(shè)備 F-REX
型號(hào) F-REX
高利用率、高吞吐量、高生產(chǎn)率的 CMP 設(shè)備
干進(jìn)/干出
*的工藝性能
高吞吐量
正常運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)
多級(jí)化學(xué)清洗
拋光終點(diǎn)檢測(cè)監(jiān)視器（可選）
在線膜厚測(cè)量?jī)x（可選）
功能多樣，設(shè)備配置靈活
兼容 SEMI-S2/CE 標(biāo)志
產(chǎn)品介紹
F-REX 型是一種安裝在潔凈室上的 CMP 系統(tǒng)，可對(duì)晶圓表面進(jìn)行化學(xué)和機(jī)械拋光。 它具有經(jīng)過(guò)市場(chǎng)驗(yàn)證的高可靠性和*的工藝性能，可以以多種方式進(jìn)行配置以滿足所需的規(guī)格。 雙模塊化設(shè)計(jì)，工藝腔室之間沒(méi)有相互污染。 即使一個(gè)模塊停止，也可以自動(dòng)切換到與另一個(gè)模塊一起運(yùn)行，并且在發(fā)生維護(hù)或故障時(shí)無(wú)需停止設(shè)備，從而實(shí)現(xiàn)高生產(chǎn)率。 此外，雙模塊系統(tǒng)可通過(guò)單個(gè)單元實(shí)現(xiàn)多流程處理。 我們不僅為大規(guī)模生產(chǎn)提供*設(shè)備配置，還為實(shí)驗(yàn)開(kāi)發(fā)應(yīng)用提供*設(shè)備配置。
儀器相關(guān)：
山高SANKO（代理）、東機(jī)產(chǎn)業(yè)TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、東日技研DIT（代理）、杉山電機(jī)SUGIYAMA（代理）、愛(ài)安德AND(廠家合作）、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛(ài)安德AND、豪雅HOYA（代理）
備件設(shè)備相關(guān)：
柴田SIBATA(代理）、 壺坂TSUBOSAKA（代理）、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口電熱SAKAGUCHI（代理）、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（廠家合作）、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機(jī)理化EYELA、科庫(kù)森KOKUSAN
光源相關(guān)：
巖崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰寫(xiě)速CCS（代理）、萊寶克斯REVOX（代理）、索萊克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龍F(tuán)UNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE
電氣控制：
SIEMENS西門(mén)子（廠家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON歐姆龍（廠家合作）、基恩士KEYENCE（廠家合作）
