這款用于中等負(fù)載工藝的干式真空泵配備了荏原的節(jié)能技術(shù)，采用了模塊化設(shè)計(jì)，針對(duì)自動(dòng)化工廠的制造進(jìn)行了優(yōu)化，以進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)小型化和節(jié)能。
寬范圍溫度控制擴(kuò)展了應(yīng)用過(guò)程。 使用同一臺(tái)機(jī)器覆蓋多個(gè)過(guò)程的能力優(yōu)化了備用機(jī)器庫(kù)存，降低了維護(hù)和培訓(xùn)要求，并為未來(lái)的過(guò)程擴(kuò)展提供了靈活性。 此外，每個(gè)過(guò)程的*溫度控制提高了工藝阻力，延長(zhǎng)組件更換周期有助于減少 TCoO。
適用應(yīng)用示例：各種蝕刻、CVD、灰化、離子注入、外延生長(zhǎng)等。