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什么是小型真空泵
2024/11/21 11:13:15
小型真空泵是一種將密閉容器中的空氣排出，使容器內部產生真空的小型泵。
對于小型真空泵，抽速通常在 200 l/min 左右，極限壓力在 0.1 Pa 至 10 Pa 左右。此外，它還用作低真空泵以獲得高真空環(huán)境，常用于各種可以在低真空下操作的分析儀器和理化儀器。
有油回轉泵、干泵、隔膜泵等多種類型，可根據原理和使用條件進行選擇。
小型真空泵的應用
小型真空泵用于要求真空度在0.1Pa左右甚至更高真空環(huán)境的分析儀器和實驗設備。例如，小型真空泵非常適合需要真空環(huán)境的電子顯微鏡、X射線分析、質譜儀、氣相色譜儀等。
另外，在半導體制造的情況下，需要真空環(huán)境來使用濺射、真空蒸發(fā)、CVD（化學氣相沉積）等形成薄膜。另外，小型真空泵在食品加工中用于真空包裝和真空包裝。
小型真空泵原理
小型真空泵按抽氣方式、壓力范圍、是否用油等分類。
1、排氣方式
真空泵按抽氣方式分為氣體輸送式真空泵和氣體儲存式真空泵。氣體輸送真空泵將空氣從進氣側輸送到排氣側。
另外，儲氣罐式真空泵是一種將要排出的空氣儲存在泵中，并使用另一個真空泵排出積聚的空氣的系統(tǒng)。
2、壓力區(qū)
用單個真空泵不可能涵蓋從大氣壓到高真空的所有情況。通常，除了用于高真空的主泵外，還使用輔助泵或低真空泵。
3.干/濕
真空泵有兩種類型：不使用油的干式真空泵和使用油的濕式真空泵。使用油的泵產生的真空場包含泵本身產生的油蒸氣和水蒸氣。
干式真空泵在需要精細控制的半導體制造工藝中尤其必要。干法也用于不耐油的食品和藥品的生產。
小型真空泵的類型
1、油旋片真空泵
在各種真空泵中，由于排量、極限壓力、價格等原因，油旋片真空泵使用*多。這種類型根據泵的類型而有多種類型，稱為旋轉式。
油的作用是潤滑軸承并改善氣缸內部的密封性。旋片式油回轉真空泵有多種類型，如旋片式、凸輪式、擺動活塞式等。能夠輕松獲得0.1Pa左右中真空的泵。
旋片式油回轉真空泵
旋片式油回轉真空泵的結構是，在內筒中內置的轉子上安裝有葉片。當轉子旋轉時，由葉片劃分的小室中的氣體被排出，導致壓力降低。
凸輪式油回轉
真空泵在安裝在圓柱形定子中心的偏心轉子的一部分與定子接觸的同時旋轉。定轉子間隙中的氣體被排出，壓力降低。
擺動活塞式油回轉真空泵
在擺動活塞式中，活塞由于偏心轉子的旋轉而上下運動。氣缸內的空氣被活塞壓縮并排出，壓力降低。
2.干泵
干泵是一種清潔、非接觸式真空泵，不使用油或液體。根據泵的類型，有多種類型。
羅茨型干式真空泵
這是一種使用羅茨型轉子的泵。由于不需要冷卻水，非常方便。
渦旋式干式真空泵
這種結構是通過渦旋件的旋轉，從外向內壓縮和排出空氣，形成真空狀態(tài)。其結構緊湊，具有高真空、低振動、低噪音、節(jié)能等優(yōu)點。
爪式干式真空泵
兩個爪形爪轉子通過相反方向旋轉產生真空。
隔膜式干真空泵
稱為泵軸的活塞的往復運動使隔膜上下移動，吸入和排出空氣。
其他
類型包括旋轉葉片式和擺動活塞式。這是一種結構與油回轉泵類似的真空泵。
對于小型真空泵，抽速通常在 200 l/min 左右，極限壓力在 0.1 Pa 至 10 Pa 左右。此外，它還用作低真空泵以獲得高真空環(huán)境，常用于各種可以在低真空下操作的分析儀器和理化儀器。
有油回轉泵、干泵、隔膜泵等多種類型，可根據原理和使用條件進行選擇。
小型真空泵的應用
小型真空泵用于要求真空度在0.1Pa左右甚至更高真空環(huán)境的分析儀器和實驗設備。例如，小型真空泵非常適合需要真空環(huán)境的電子顯微鏡、X射線分析、質譜儀、氣相色譜儀等。
另外，在半導體制造的情況下，需要真空環(huán)境來使用濺射、真空蒸發(fā)、CVD（化學氣相沉積）等形成薄膜。另外，小型真空泵在食品加工中用于真空包裝和真空包裝。
小型真空泵原理
小型真空泵按抽氣方式、壓力范圍、是否用油等分類。
1、排氣方式
真空泵按抽氣方式分為氣體輸送式真空泵和氣體儲存式真空泵。氣體輸送真空泵將空氣從進氣側輸送到排氣側。
另外，儲氣罐式真空泵是一種將要排出的空氣儲存在泵中，并使用另一個真空泵排出積聚的空氣的系統(tǒng)。
2、壓力區(qū)
用單個真空泵不可能涵蓋從大氣壓到高真空的所有情況。通常，除了用于高真空的主泵外，還使用輔助泵或低真空泵。
3.干/濕
真空泵有兩種類型：不使用油的干式真空泵和使用油的濕式真空泵。使用油的泵產生的真空場包含泵本身產生的油蒸氣和水蒸氣。
干式真空泵在需要精細控制的半導體制造工藝中尤其必要。干法也用于不耐油的食品和藥品的生產。
小型真空泵的類型
1、油旋片真空泵
在各種真空泵中，由于排量、極限壓力、價格等原因，油旋片真空泵使用*多。這種類型根據泵的類型而有多種類型，稱為旋轉式。
油的作用是潤滑軸承并改善氣缸內部的密封性。旋片式油回轉真空泵有多種類型，如旋片式、凸輪式、擺動活塞式等。能夠輕松獲得0.1Pa左右中真空的泵。
旋片式油回轉真空泵
旋片式油回轉真空泵的結構是，在內筒中內置的轉子上安裝有葉片。當轉子旋轉時，由葉片劃分的小室中的氣體被排出，導致壓力降低。
凸輪式油回轉
真空泵在安裝在圓柱形定子中心的偏心轉子的一部分與定子接觸的同時旋轉。定轉子間隙中的氣體被排出，壓力降低。
擺動活塞式油回轉真空泵
在擺動活塞式中，活塞由于偏心轉子的旋轉而上下運動。氣缸內的空氣被活塞壓縮并排出，壓力降低。
2.干泵
干泵是一種清潔、非接觸式真空泵，不使用油或液體。根據泵的類型，有多種類型。
羅茨型干式真空泵
這是一種使用羅茨型轉子的泵。由于不需要冷卻水，非常方便。
渦旋式干式真空泵
這種結構是通過渦旋件的旋轉，從外向內壓縮和排出空氣，形成真空狀態(tài)。其結構緊湊，具有高真空、低振動、低噪音、節(jié)能等優(yōu)點。
爪式干式真空泵
兩個爪形爪轉子通過相反方向旋轉產生真空。
隔膜式干真空泵
稱為泵軸的活塞的往復運動使隔膜上下移動，吸入和排出空氣。
其他
類型包括旋轉葉片式和擺動活塞式。這是一種結構與油回轉泵類似的真空泵。
