HORIBA掘場(chǎng)CS-100F1光纖化學(xué)濃度監(jiān)測(cè)儀北崎國(guó)際

2025/02/12 14:16:20

這是一款光纖化學(xué)濃度監(jiān)測(cè)儀，可實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體制造過(guò)程（如清洗和蝕刻）中使用的化學(xué)品的在線實(shí)時(shí)測(cè)量。

可以進(jìn)行在線實(shí)時(shí)測(cè)量。使用單個(gè)濃度監(jiān)測(cè)儀可以同時(shí)測(cè)量多達(dá)四種類(lèi)型的化學(xué)品（化學(xué)溶液或范圍），使其適合使用單槽和單晶片清潔設(shè)備進(jìn)行測(cè)量。

多重監(jiān)控

使用單個(gè)濃度監(jiān)測(cè)儀*多可測(cè)量 4 種濃度（化學(xué)溶液或范圍）。

測(cè)量周期短，響應(yīng)時(shí)間短

支持 300 mm 過(guò)程的濃度控制，測(cè)量周期約為 3 秒。除了多槽清洗外，我們還支持單槽和單晶片清洗設(shè)備的精細(xì)濃度管理。

2 種類(lèi)型可供選擇

您可以選擇強(qiáng)調(diào)實(shí)時(shí)濃度跟蹤并直接集成到主管中的在線單元類(lèi)型，也可以選擇強(qiáng)調(diào)穩(wěn)定性并可以使用監(jiān)視器輸出的反饋進(jìn)行控制的單元類(lèi)型。

型	CS-151F1 系列	CS-152F1 系列	CS-150F1 型
測(cè)量目標(biāo)	SC-1 （氨/水中的過(guò)氧化氫）	SC-2 （鹽酸/水溶液中的過(guò)氧化氫）	SPM （硫酸/水中的過(guò)氧化氫）
測(cè)量目標(biāo)	一臺(tái)設(shè)備*多可進(jìn)行 4 種類(lèi)型（化學(xué)溶液或范圍）的多重監(jiān)控。
測(cè)量原理	吸收光譜
濃度計(jì)算原理	溫度補(bǔ)償多變量分析方法
測(cè)量范圍（質(zhì)量百分比）	新罕布什爾州3： 0.00%?1.00% H2O2： 0.00%?5.00% H2O： 94.0%?100.0%	鹽酸： 0.00%?2.00% H2O2： 0.00%?2.00% H2O： 96.0%?100.0%	H2所以4： 70.0%?96.0% H2O2： 0.00%?10.00% H2O： 4.0%?30.0%
重現(xiàn) 性準(zhǔn)確度（室溫變化± 1°C 以內(nèi)）（質(zhì)量百分比）	新罕布什爾州3：±0.15% H2O2：±0.30% H2比例：±1.5%	碳酸鹽含量：±0.15% H2O2：±0.15 % H2比例：±1.5%	H2所以4：±0.50% H2O2：±0.50% H2比例：±1.5%
樣品液體溫度	20 至 80°C（使用在線單元） 20 至 30°C（使用單元）
測(cè)量周期	約 3 秒
液晶顯示部分顯示和輸入內(nèi)容	?第 1 組件：濃度測(cè)量（%） ?第 2 組件：濃度測(cè)量（%） ?第 3 組件：濃度測(cè)量（%） ?第 1 和第 2 組件：濃度警報(bào)狀態(tài) ?錯(cuò)誤代碼 ?并聯(lián)濃度警報(bào)輸出禁用 ?串行/并聯(lián)狀態(tài) ?背景校正信息
串行輸入 RS-232C	- 串行/并聯(lián)狀態(tài)切換 - 測(cè)量數(shù)據(jù)傳輸請(qǐng)求 - 設(shè)置第 1 組分和第 2 組分濃度警報(bào)值 - 并聯(lián)濃度警報(bào)輸出狀態(tài)（啟用/禁用） ?測(cè)量目標(biāo)化學(xué)品切換
并行輸入	帶光耦合器隔離的電壓輸入（12 至 30 VDC） ?并聯(lián)濃度警報(bào)輸出 ?待測(cè) 化學(xué)溶液的切換 ?背景校正
并行輸出	帶光耦合器隔離的集電極開(kāi)路輸出 ON時(shí) 的電流：5 mA DC（無(wú)內(nèi)部保護(hù)電阻） OFF時(shí)的點(diǎn)火電壓：30 VDC ?4種*成分濃度警報(bào) - 4種第二成分濃度警報(bào) ?設(shè)備異常 ?正在進(jìn)行 ?被測(cè) 化學(xué)藥劑種類(lèi) ?本底校正狀態(tài)
化學(xué)溫度輸入	接線端子（端子螺釘 M3） ?鉑電阻溫度計(jì)檢測(cè)器：Pt100（Pt 傳感器必須由客戶準(zhǔn)備。 )
模擬輸出	? 4 種類(lèi)型的第 1 組分濃度警報(bào)：4 至 20 mA ? 4 種類(lèi)型的第 2 組分濃度警報(bào)：4 至 20 mA * 我們可以處理測(cè)量范圍規(guī)格以外的其他業(yè)務(wù)。請(qǐng)?jiān)谟嗁?gòu)時(shí)注明。
光纖	CS-100F1 系列光纖（安裝溫度 25±15°C）
樣品池	我們?yōu)樗璧幕瘜W(xué)類(lèi)型提供各種樣品池（在線樣品池和樣品池單元）。
權(quán)力	AC 100V 至 230V（單相） ± 10%，50/60Hz，約 100VA
外形尺寸	205 （W） × 329 （D） × 269 （H） mm（不包括突出部分）
質(zhì)量	約 11 公斤