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HORIBA掘場VG-200S電容壓力計 隔膜真空計北崎供應(yīng)
2025/02/12 11:57:14
HORIBA掘場VG-200S電容壓力計 隔膜真空計北崎供應(yīng)
HORIBA掘場VG-200S電容壓力計 隔膜真空計北崎供應(yīng)
在線壓力測量是許多行業(yè)不可或缺的技術(shù)，包括半導(dǎo)體、平板顯示器、光伏板、硬盤和涂層。 電容壓力計通過與對面電極的電容測量由隔膜兩側(cè)（稱為隔膜）之間的壓力差引起的位移量，并將其轉(zhuǎn)換為壓力。 與其他壓力測量方法相比，電容壓力計具有以下特點：
- *壓力測量
- 高精度和*的穩(wěn)定性
-
測量不受氣體類型的影響
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HORIBA 的 VG-200S 電容壓力計是*小的自溫控真空計。 的電極結(jié)構(gòu)實現(xiàn)了高精度和高穩(wěn)定性。
- 自控型和*小級
- 的電極結(jié)構(gòu)實現(xiàn)了高精度和高穩(wěn)定性
- SUS316L用于氣體接觸部分，包括隔膜。
- 不加熱，55°C溫控，可選擇100°C溫控
- 一推零
- 電源 ±15 VDC， 24 VDC
- 符合 CE、RoHS 標準
| 型 | VG-211S 系列 | VG-221S 系列 | ||
| F.S. 測量范圍 | 133.32帕斯 （A） |
1.3332 kPa （A） 13.332 kPa （A） 133.32 kPa （A） |
133.32帕斯 （A） |
1.3332 kPa （A） 13.332 kPa （A） 133.32 kPa （A） |
| 傳感器的溫度控制 *1 | 室溫（無加熱器） | 55°C / 100°C | ||
| 精度 *2 | 0.5% R.S. | 0.25% R.S. | 0.5% R.S. | 0.25% R.S. |
| 分辨率 | 0.03% F.S. | 0.01% F.S. | 0.03% F.S. | 0.01% F.S. |
| 零溫度系數(shù) | 0.01% F.S./°C | 0.005% F.S./°C | 0.005% 滿量程 /°C | 0.0025% 滿量程 /°C |
| 跨度溫度系數(shù) | 0.05% 讀數(shù)/°C | 0.03% 讀數(shù)/°C | 0.03% 讀數(shù)/°C | 0.02% 讀數(shù) /°C |
| 響應(yīng)時間 | < 60 毫秒 | |||
| 工作溫度范圍 *3 | 10-50°C | |||
| 氣體接觸材料 | SUS316L | |||
| 加壓極限 | 300kPA （A） | 350kPa （A） | 300kPa （A） | 350kPa （A） |
| 輸出信號 | 0-10VDC 負載電阻：>10kΩ | |||
| 輸入/輸出連接器 | D-Sub 15 針 | |||
| 電源電壓 | +15VDC±5%、* 0.1A -15VDC±5%、* 0.1A | +15VDC±5%，* 0.6A。 -15VDC±5%，* 0.6A。 | ||
| 24VDC±5%，* 2.4W | 24VDC±5%，* 22W | |||
| 預(yù)熱時間 | 15 分鐘 |
60 分鐘（55°C 溫控型） 120 分鐘（100°C 溫控型） |
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| 集電極開路輸出 | 額定電壓：30V 額定電流：50mA | |||
| 重新歸零輸入 | 無電壓觸點輸入 觸點開路電壓：13V *觸點電流：1.3mA | |||
| 標準配件 *4 | KF16， 1/2 英寸 VCR 母頭， ICF34， 1/4 英寸 VCR 母頭 | |||
*1 請在訂購時溫度控制類型和溫度。
*2 包括線性度、滯后性和重現(xiàn)性。 （環(huán)境溫度為 25°C 時）
*3 如果產(chǎn)品周圍有熱源，或者多個產(chǎn)品非常接近，則環(huán)境溫度可能會過規(guī)定的環(huán)境溫度。
*4 請在訂購時配件。
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