山東省濰坊市電子廠環(huán)境潔凈度檢測(cè)內(nèi)容和方法--天津中達(dá)檢測(cè)濟(jì)南分公司   2、檢測(cè)點(diǎn)：根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)，檢測(cè)凈化車(chē)間潔凈度時(shí)，檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)在距室內(nèi)地面水平面1.00m以內(nèi)；單向流式無(wú)塵凈化車(chē)間，測(cè)點(diǎn)數(shù)不應(yīng)少于20個(gè)，測(cè)點(diǎn)間距為0.5 -2.0m。水平單向流量測(cè)點(diǎn)僅無(wú)布置；非單向流式無(wú)塵凈化車(chē)間按無(wú)塵凈化車(chē)間面積小于等于50m2布置5個(gè)測(cè)點(diǎn)。3、關(guān)于等速采樣：等速采樣是指在檢測(cè)過(guò)程中，粒子計(jì)數(shù)器的采樣管入口方向與被采樣單向氣流的方向一致，進(jìn)入采樣管入口的空氣平均流速與該位置單向氣流的平均速度。

因?yàn)樵谶^(guò)于干燥的廠房?jī)?nèi)容易產(chǎn)生靜電，會(huì)損壞CMOS集成度。一般來(lái)說(shuō)，電子車(chē)間的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對(duì)濕度應(yīng)控制在50-60之間（特殊潔凈車(chē)間有相關(guān)溫濕度規(guī)定）。此時(shí)，能有效消除靜電，讓人心情舒暢。芯片生產(chǎn)車(chē)間、集成電路潔凈室和磁盤(pán)制造車(chē)間是電子制造潔凈室的重要組成部分。

電子廠環(huán)境潔凈度檢測(cè) 電子無(wú)塵車(chē)間后，為電子無(wú)塵車(chē)間空調(diào)凈化系統(tǒng)軟件的電加熱器出示空氣清新和過(guò)熱關(guān)閉電源維護(hù)(假如應(yīng)用點(diǎn)增濕器，應(yīng)出示沒(méi)有水維護(hù))。嚴(yán)寒氣溫地區(qū)應(yīng)是新鮮空氣系統(tǒng)出示防寒保障措施。 性能無(wú)塵車(chē)間能夠?yàn)殡娮有酒纳a(chǎn)制造和生產(chǎn)制造造就高度清理的環(huán)境。只能在這類環(huán)境下，才可以確保電子芯片的生產(chǎn)安全。

　　廠房潔凈度檢測(cè)，潔凈車(chē)間檢測(cè)需要間隔多久一次?　　為了保證潔凈車(chē)間或潔凈區(qū)運(yùn)行中始終符合要求，潔凈車(chē)間(區(qū))檢測(cè)的基本內(nèi)容包含空氣潔凈度等級(jí)、靜壓差和風(fēng)速、風(fēng)量的測(cè)定?！稘崈魪S房設(shè)計(jì)規(guī)范》規(guī)定：空氣潔凈度等級(jí)≤5級(jí)，空氣潔凈度等級(jí)測(cè)試*長(zhǎng)時(shí)間間隔為6個(gè)月;空氣潔凈度等級(jí)>5級(jí)，空氣潔凈度等級(jí)測(cè)試*長(zhǎng)時(shí)間間隔為12個(gè)月;靜壓差和風(fēng)量(風(fēng)速)測(cè)試*長(zhǎng)時(shí)間間隔為12個(gè)月;溫度、相對(duì)濕度、噪聲的*長(zhǎng)檢測(cè)間隔時(shí)間為12個(gè)月。

十萬(wàn)級(jí)車(chē)間的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)是大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得過(guò)3500000個(gè)，大或等于5微米的粒子數(shù)不得過(guò)20000個(gè)；萬(wàn)級(jí)車(chē)間的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)是直徑大于等于0.5μ的塵粒數(shù)不能過(guò)350000個(gè)，直徑大于5μ的塵粒數(shù)不能過(guò)2000個(gè)；  電子制造業(yè)廠潔凈室檢測(cè)要求潔凈度等級(jí)、風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)等按需要進(jìn)行控制。潔凈室的照度和截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范控制。另外，這類潔凈室對(duì)靜電的要求非常高。嚴(yán)格的。其中，對(duì)濕度的要求更為嚴(yán)格。因?yàn)樵谶^(guò)于干燥的廠房?jī)?nèi)容易產(chǎn)生靜電，會(huì)損壞CMOS集成度。

電子廠環(huán)境潔凈度檢測(cè)  十萬(wàn)級(jí)車(chē)間的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)是大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得過(guò)3500000個(gè)，大或等于5微米的粒子數(shù)不得過(guò)20000個(gè)；萬(wàn)級(jí)車(chē)間的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)是直徑大于等于0.5μ的塵粒數(shù)不能過(guò)350000個(gè)，直徑大于5μ的塵粒數(shù)不能過(guò)2000個(gè)；

電子無(wú)塵車(chē)間后，為電子無(wú)塵車(chē)間空調(diào)凈化系統(tǒng)軟件的電加熱器出示空氣清新和過(guò)熱關(guān)閉電源維護(hù)(假如應(yīng)用點(diǎn)增濕器，應(yīng)出示沒(méi)有水維護(hù))。嚴(yán)寒氣溫地區(qū)應(yīng)是新鮮空氣系統(tǒng)出示防寒保障措施。 性能無(wú)塵車(chē)間能夠?yàn)殡娮有酒纳a(chǎn)制造和生產(chǎn)制造造就高度清理的環(huán)境。只能在這類環(huán)境下，才可以確保電子芯片的生產(chǎn)安全。

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