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運(yùn)動(dòng)部件鋁合金構(gòu)造:具有更大的剛性重量比。
Y向橫梁采用獲得的“斜橋技術(shù)”,具有很高的剛性
各軸采用直流伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)
的21項(xiàng)參數(shù)幾何誤差補(bǔ)償
可濾油和濾水的空氣過(guò)濾器