產品介紹The Perfect Solution
顯微激光測振儀是一款全新的集多功能于一身的非接觸式振動測量儀器，也是一款可視化顯微測量分析的理想工具。它可以通過顯微光學系統(tǒng)實現(xiàn)對微小物體的振動測量，可以測量MEMS等微小結構元器件的振動和形貌，激光光斑達微米量級，并可通過顯微成像系統(tǒng)實時觀察物體的振動狀態(tài)（頻率、速度、加速度、位移）等多維信息。
特點Key Features and Benefits
l 非接觸測量，無負載；
l 激光光斑極小，微米級；
l 優(yōu)越的帶寬和動態(tài)范圍；
l 高空間分辨率；
l 工作距離可選；
l 高靈活性、易安裝、易操作；
l 振動傳感器結構緊湊、性能穩(wěn)定、抗外力沖擊、測量精度高
l 配有同軸照明裝置和相機，可以方便迅速地確定測量位置。
擴展功能Expand the Capabilities
l 利用顯微鏡視頻閃頻技術測量物體面內振動特性(可定制)
l 通過白光干涉測量物體形貌特性(可定制)
應用領域Benefits for Challenging Applications
l 微機電系統(tǒng)（MEMS）動態(tài)測試
l 生命科學、醫(yī)學、動物學研究，如昆蟲等生物的活體的振動特性測量
l 計算機外設的動態(tài)測試：硬盤驅動器、光盤機、磁帶機、頭/盤接口等；
l 超聲振動測量
l 壓電陶瓷振動測量
l 弦線/絲線振動特性測量
l 微型陀螺儀振動測量
技術參數PARAMETERS
顯微激光測振儀LV-S01-M
工作溫度
3℃ - 45℃
工作濕度
<90%
電源
220 - 240Vrms，50-60Hz
激光波長
He-Ne Laser 632.8nm
激光安全等級
Class II
速度量程
10m/s
輸出電壓
±10V
頻率范圍
DC~3MHz
濾波設置
高通低通濾波設置
大線性誤差
1%
機架
（標準配置）
反射用機架，低手位粗微同軸調焦機構。
粗調行程25mm，微調精度0.001mm。
帶有防止下滑的調節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。
內置100-240V寬電壓系統(tǒng)。
光學參數
檢測器尺寸：1/2 測量距離：9mm（使用10X物鏡時）
觀測裝置
CMOS數碼相機：320萬像素（USB2.0）
速度分辨率
優(yōu)于0.01μm?s-1/Hz
位移分辨率
優(yōu)于15pm
速度解碼器
VD-16數字速度解碼器
位移解碼器
DD-16數字位移解碼器、DD-21數字位移解碼器
VD-16數字速度解碼器 Digital Velocity Decoders
檔位
大速度
（mm/s/V）
（m/s，peak﹡）
（KHz）
0.001
0.00001
0-1
0.005
0.00005
0-80
0.01
0.0001
0.05
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0.1
0.5
0-200
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0.02
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0-250
20
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0-1000
50
0-1500
100
0-3000
200
500
1000
﹡ 輸出電壓范圍±10V
DD-16數字位移解碼器 Digital Displacement Decoders
大位移
（μm/V）
（μm，peak-peak﹡）
4
40
400
2000
4000
10000
20000
40000
5000
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DD-21數字位移解碼器 Digital Displacement Decoders
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其他推薦產品
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產品介紹The Perfect Solution
顯微激光測振儀是一款全新的集多功能于一身的非接觸式振動測量儀器，也是一款可視化顯微測量分析的理想工具。它可以通過顯微光學系統(tǒng)實現(xiàn)對微小物體的振動測量，可以測量MEMS等微小結構元器件的振動和形貌，激光光斑達微米量級，并可通過顯微成像系統(tǒng)實時觀察物體的振動狀態(tài)（頻率、速度、加速度、位移）等多維信息。
特點Key Features and Benefits
l 非接觸測量，無負載；
l 激光光斑極小，微米級；
l 優(yōu)越的帶寬和動態(tài)范圍；
l 高空間分辨率；
l 工作距離可選；
l 高靈活性、易安裝、易操作；
l 振動傳感器結構緊湊、性能穩(wěn)定、抗外力沖擊、測量精度高
l 配有同軸照明裝置和相機，可以方便迅速地確定測量位置。
擴展功能Expand the Capabilities
l 利用顯微鏡視頻閃頻技術測量物體面內振動特性(可定制)
l 通過白光干涉測量物體形貌特性(可定制)
應用領域Benefits for Challenging Applications
l 微機電系統(tǒng)（MEMS）動態(tài)測試
l 生命科學、醫(yī)學、動物學研究，如昆蟲等生物的活體的振動特性測量
l 計算機外設的動態(tài)測試：硬盤驅動器、光盤機、磁帶機、頭/盤接口等；
l 超聲振動測量
l 壓電陶瓷振動測量
l 弦線/絲線振動特性測量
l 微型陀螺儀振動測量
技術參數PARAMETERS
顯微激光測振儀LV-S01-M
工作溫度
3℃ - 45℃
工作濕度
<90%
電源
220 - 240Vrms，50-60Hz
激光波長
He-Ne Laser 632.8nm
激光安全等級
Class II
速度量程
10m/s
輸出電壓
±10V
頻率范圍
DC~3MHz
濾波設置
高通低通濾波設置
大線性誤差
1%
機架
（標準配置）
反射用機架，低手位粗微同軸調焦機構。
粗調行程25mm，微調精度0.001mm。
帶有防止下滑的調節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。
內置100-240V寬電壓系統(tǒng)。
光學參數
檢測器尺寸：1/2 測量距離：9mm（使用10X物鏡時）
觀測裝置
CMOS數碼相機：320萬像素（USB2.0）
速度分辨率
優(yōu)于0.01μm?s-1/Hz
位移分辨率
優(yōu)于15pm
速度解碼器
VD-16數字速度解碼器
位移解碼器
DD-16數字位移解碼器、DD-21數字位移解碼器
VD-16數字速度解碼器 Digital Velocity Decoders
檔位
大速度
頻率范圍
（mm/s/V）
（m/s，peak﹡）
（KHz）
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﹡ 輸出電壓范圍±10V
DD-16數字位移解碼器 Digital Displacement Decoders
檔位
大位移
頻率范圍
（μm/V）
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DD-21數字位移解碼器 Digital Displacement Decoders
檔位
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頻率范圍
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