反射機(jī)架,低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu),粗調(diào)行程28mm,微調(diào)精度0.002mm,帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和機(jī)械上限位裝置。帶平臺(tái)位置上下調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),大樣品高度78mm。
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反射機(jī)架,低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu),粗調(diào)行程28mm,微調(diào)精度0.002mm,帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和機(jī)械上限位裝置。帶平臺(tái)位置上下調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),大樣品高度78mm。