技術參數(shù)：
? 尺寸 (H x W x D): ~ 150 x 195 x 265 mm, 重量: ~4.4 kg
? 自動轉換100/240V外部電源
? FSMA 行業(yè)標準分叉光光纖連接器
? 德國Carl Zeis的分光儀模塊，使用全息凹面衍射光柵
? 512像素光電二極管,無冷卻要求
? 工廠預置模塊，無移動部件
? 波長范圍: 600-1020 nm
? 厚度測量范圍：約2um至120um
? 光譜分辨：2.4 nm
? 光譜像素分辨： 0.8 nm
? *波長精度: 小于 0.3 nm
? 溫度漂移: 小于0.005 nm / Kelvin
? 集成機械光閘，手動或自動切換
? 美國Welch Allyn 7W微型鹵素燈
? 配備FTM-Provis Lite膜厚測量軟件，可同時TCL和IPL雙層膜厚

? 配備FTM-Lite X膜厚測量軟件可，同時分析TCL、IPL和AFL三層膜厚

? 多線程 MDI-應用, 詳細的幫助菜單,彩色打印的用戶手冊
? 通過特定的傅里葉快速轉換進行干涉波譜計算
? 用于計算FFT峰位(膜厚結果)的高精度算法
? 準確性+/- 0.005 um, 重復性 +/- 0.002 um( 標準WEG 測試)
? 測量期間能實時顯示干涉,FFT波譜和膜厚的趨勢
? 考慮折射率和色散 (柯西色散定理)
? 可同時測量雙層或三層膜厚