產(chǎn)品特點

u 采用閉環(huán)控制伺服電機，數(shù)字式增速信號反饋，速勻準確，壽命長，保證勻膠均勻。

u 5寸全彩觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標配10個勻膠梯度階段（速度和時間梯度設置），可選配10個可編程程序，每個程序下可設置10個勻膠梯度階段，*多100個階段。

u 內(nèi)置水平校準裝置，*限度的保證旋涂均勻，可對大小不同規(guī)格的基片進行旋涂。

u 多重安全保護

          電磁安全開關，蓋子打開卡盤停止，保證安全；

          蓋子自鎖功能，防止飛片蓋*開傷人；

          雙重安全上蓋，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人，*限度保證實驗人員安全。

u 一機兩用，根據(jù)不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂模式。

u 不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，PTFE旋涂腔體，聚丙烯（NPP-H）旋涂托盤，PTFE嵌鑲鋼化玻璃上蓋，耐酸堿防腐蝕，保證儀器在苛刻條件下仍能正常運行。

u 適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs，GaN，InP 等多種材料。

技術參數(shù)