薄膜開關(guān)在線式等離子表面處理機(jī)：誠峰智造

真空式等離子處理系統(tǒng)CRF-VPO-2L-S

名稱（Name）

真空式等離子處理系統(tǒng)

型號(hào)（Model）

CRF-VPO-2L-S

控制系統(tǒng)（Control system）

PLC+觸摸屏

電源（Power supply）

380V/AC,50/60Hz, 3kw

中頻電源功率（RF Power）

1000W/40KHz

容量（Volume ）

10L(Option)

層數(shù)（Electrode of plies ）

2(Option)

腔體規(guī)格（Area）

220(W)*230(D)*230(H)

氣體通道（Gas）

兩路工作氣體可選：Ar、N2、CF4、O2

產(chǎn)品概述
設(shè)備參數(shù)
產(chǎn)品特點(diǎn)
大處理空間，提升處理產(chǎn)能，采用PLC+觸摸屏控制系統(tǒng)，*的控制設(shè)備運(yùn)行；
可按照客戶要求定制設(shè)備腔體容量和層數(shù)，滿足客戶的需求；保養(yǎng)維修成本低，便于客戶成本控制；
高精度，快響應(yīng)，良好的操控性和兼容性，完善的功能和*的技術(shù)支持。
 
應(yīng)用范圍
真空等離子清洗機(jī)適用于印制線路板行業(yè)，半導(dǎo)體IC領(lǐng)域、硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域，汽車電子行業(yè),航空工業(yè)等。印制線路板行業(yè)：高頻板表面活化，多層板表面清潔、去鉆污、軟板、軟硬結(jié)合板表面清潔、去鉆污，軟板補(bǔ)強(qiáng)前活化。半導(dǎo)體IC領(lǐng)域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線、焊接前的清洗；硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。

伴隨著航空工業(yè)的發(fā)展，渦輪發(fā)動(dòng)機(jī)燃?xì)膺M(jìn)口溫度和效率都在不斷提高，而現(xiàn)有的高溫合金和冷卻技術(shù)已經(jīng)不能滿足這一需求。因此，等離子體噴涂熱障涂層在高溫合金表面的應(yīng)用就顯得尤為重要，而且熱障涂層在高溫下工作已有很長(zhǎng)的歷史。
抗氧化能力是評(píng)價(jià)等離子體噴涂熱障涂層性能的重要指標(biāo)。采用稱量法和氧化層厚度法對(duì)等離子體噴涂熱障涂層的高溫氧化行為進(jìn)行了熱力學(xué)和動(dòng)力學(xué)分析。并利用X射線衍射、電子探針等分析手段，對(duì)樣品的成分分布及結(jié)構(gòu)變化進(jìn)行了研究。根據(jù)試驗(yàn)結(jié)果探討了熱障涂層的氧化機(jī)理。研究了大氣等離子體機(jī)噴涂制備的ZrO2熱障涂層，分別采用MgO和Y2O3作穩(wěn)定劑，對(duì)其靜態(tài)氧化性能進(jìn)行了測(cè)試。研究發(fā)現(xiàn)，兩種熱障涂層的靜態(tài)氧化動(dòng)力學(xué)均遵循拋物線規(guī)律，氣孔率隨氧化溫度升高而降低，單斜相含量增加。雖然MgO的加入量比Y2O3高，但Y2O3穩(wěn)定的ZrO2熱障涂層具有更好的熱穩(wěn)定性。而在Y2O3穩(wěn)定的ZrO2熱障涂層中，Al元素在過渡層上分布均勻，具有較好的抗氧化性能。通過實(shí)驗(yàn)，用低壓等離子噴涂技術(shù)制備了Y2O3-ZrO2/NiCoCrAlY復(fù)合熱障涂層，并對(duì)其進(jìn)行了800-1000℃的靜態(tài)氧化試驗(yàn)。
通過低壓等離子體處理機(jī)對(duì)膠層進(jìn)行噴涂，制備出的熱障涂層具有較好的高溫抗氧化性能。而且樣品在較高溫度長(zhǎng)期氧化后，粘結(jié)層中的鋁元素會(huì)擴(kuò)散到陶瓷層/粘結(jié)層界面，形成均勻致密的雙層氧化鋁膜，更有效地保護(hù)基體。對(duì)三種熱障涂層高溫氧化行為的研究表明，等離子體熱障涂層的氧化過程分為氧吸附、氧在陶瓷層中的擴(kuò)散、選擇氧化生成Al2O3膜、薄膜生長(zhǎng)、厚膜生長(zhǎng)和厚膜破壞六個(gè)階段，其中鋁元素的分布直接影響保護(hù)性膜的生長(zhǎng)和成熟，進(jìn)而影響涂層的抗氧化性。