產品簡介
HCP421G-ELP專為橢圓偏振儀設計。其上蓋支持70°的出入射角度,臺體溫度范圍 -190℃ ~ 400℃,同時允許光學觀察和樣品氣體環(huán)境控制。上蓋與底殼構成一個真空腔,也可往內充入氮氣等保護氣體,來防止樣品在負溫下結霜,或高溫下氧化。
功能特點
橢偏儀冷熱臺,70°出入射角
-190℃~400℃ 可編程控溫(負溫需配液氮制冷系統(tǒng))
28 mm x 30 mm加熱區(qū)
可充入保護氣體的真空腔
可從溫控器或電腦軟件控制,可提供軟件SDK
*可做定制或改動,詳詢上海恒商
溫控參數
溫度范圍
-190℃ ~ 400℃(負溫需配液氮制冷系統(tǒng))
加熱塊材質
銀
傳感器/溫控方式
100Ω鉑RTD / PID控制
加熱/制冷速度
+80℃/min (100℃時)
-50℃/min (100℃時)
±0.01℃/min
溫度分辨率
0.01℃
溫度穩(wěn)定性
±0.05℃(>25℃)
±0.1℃(<25℃)
軟件功能
可設溫控速率,可設溫控程序,可記錄溫控曲線
光學參數
適用光路
斜反射光路
窗片
可拆卸與更替的窗片
物鏡工作距離
5 mm *截面圖中WD
入射角度/出射角度
70.0° / 70.0°
負溫下窗片除霜
吹氣除霜管路
結構參數
加熱區(qū)/樣品區(qū)
28 mm x 30 mm
樣品腔高
2.8 mm
*樣品厚度范圍 = 樣品腔高 – 樣品襯底厚度
放樣
水平抽出上蓋后置入樣品
氣氛控制
氣密腔,可充入保護氣體
外殼冷卻
可通循環(huán)水,以維持外殼溫度在常溫附近
安裝方式
水平安裝 或 垂直安裝
臺體尺寸/重量
97 mm x 84 mm x 36.5 mm / 500g
配置列表
基本配置
HCP421V-ELP冷熱臺 、mK2000B溫控器
可選配件
冷熱臺安裝支架 、液氮制冷系統(tǒng) 、外殼循環(huán)水冷系統(tǒng) 、
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產品簡介
HCP421G-ELP專為橢圓偏振儀設計。其上蓋支持70°的出入射角度,臺體溫度范圍 -190℃ ~ 400℃,同時允許光學觀察和樣品氣體環(huán)境控制。上蓋與底殼構成一個真空腔,也可往內充入氮氣等保護氣體,來防止樣品在負溫下結霜,或高溫下氧化。
功能特點
橢偏儀冷熱臺,70°出入射角
-190℃~400℃ 可編程控溫(負溫需配液氮制冷系統(tǒng))
28 mm x 30 mm加熱區(qū)
可充入保護氣體的真空腔
可從溫控器或電腦軟件控制,可提供軟件SDK
*可做定制或改動,詳詢上海恒商
溫控參數
溫度范圍
-190℃ ~ 400℃(負溫需配液氮制冷系統(tǒng))
加熱塊材質
銀
傳感器/溫控方式
100Ω鉑RTD / PID控制
加熱/制冷速度
+80℃/min (100℃時)
-50℃/min (100℃時)
加熱/制冷速度
±0.01℃/min
溫度分辨率
0.01℃
溫度穩(wěn)定性
±0.05℃(>25℃)
±0.1℃(<25℃)
軟件功能
可設溫控速率,可設溫控程序,可記錄溫控曲線
光學參數
適用光路
斜反射光路
窗片
可拆卸與更替的窗片
物鏡工作距離
5 mm *截面圖中WD
入射角度/出射角度
70.0° / 70.0°
負溫下窗片除霜
吹氣除霜管路
結構參數
加熱區(qū)/樣品區(qū)
28 mm x 30 mm
樣品腔高
2.8 mm
*樣品厚度范圍 = 樣品腔高 – 樣品襯底厚度
放樣
水平抽出上蓋后置入樣品
氣氛控制
氣密腔,可充入保護氣體
外殼冷卻
可通循環(huán)水,以維持外殼溫度在常溫附近
安裝方式
水平安裝 或 垂直安裝
臺體尺寸/重量
97 mm x 84 mm x 36.5 mm / 500g
配置列表
基本配置
HCP421V-ELP冷熱臺 、mK2000B溫控器
可選配件
冷熱臺安裝支架 、液氮制冷系統(tǒng) 、外殼循環(huán)水冷系統(tǒng) 、