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等離子清洗機(jī)

價(jià)格
¥38,000.00

型號(hào)
KT-Z2DQXKT-S2DQXKT-Z5DQX

品牌
KT

所在地
廣東省 深圳市

更新時(shí)間
2021-08-06 00:17:15

瀏覽次數(shù)

    等離子清洗機(jī)作為一種微觀固體表面的處理設(shè)設(shè)備,是一種全新的表面處理方案。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清洗機(jī)就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面,從而實(shí)現(xiàn)清潔等目的。

    主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜工藝、PCB制程、PCB制程、元器件封裝前、COG前、真空電子、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗,塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)等。

    該系列等離子清洗機(jī)內(nèi)置高純石英倉(cāng)體,采用了*的電極結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和固態(tài)電源技術(shù),使其有效容積增大,不同真空 氣體環(huán)境下容易匹配,且控制頻率穩(wěn)定。真空倉(cāng)門有觀察窗,可直觀物體的處理過(guò)程,其射頻電源與控制都組裝在一個(gè)機(jī)箱內(nèi),即減少了空間的占用,更便于操作和放置,同時(shí)與大型清洗機(jī)相比較,從檢測(cè)功能與控制功能的設(shè)置上均可一個(gè)面板上操作,特別適用科學(xué)實(shí)驗(yàn) 樣品清洗和教學(xué)。


    設(shè)備型號(hào)

    KT-Z2DQX

    KT-S2DQX

    KT-Z5DQX

    供電電源

    AC220VAC110V可選)

    工作電流

    整機(jī)工作電流不大于3.5A(不含真空泵)

    射頻電源功率

    1000 W

    150 W

    300 W

    射頻頻率

    40 KHz

    13.56 MHz

    耦合方式

    電容耦合

    真空度

    ≤50 Pa

    腔體材質(zhì)

    高純石英

    腔體容積

    2L(內(nèi)徑110 mm×深度220 mm)

    2L(內(nèi)徑110 mm×深度220 mm)

    5L(內(nèi)徑160 mm×深度310 mm)

    觀察窗內(nèi)徑

    Φ50

    Φ50

    Φ70

    氣體流量

    10—100 ml/min(其他量程可選)

    過(guò)程控制

    過(guò)程自動(dòng)控制

    過(guò)程手動(dòng)控制

    過(guò)程自動(dòng)控制

    清洗時(shí)間

    自動(dòng)開(kāi)關(guān)

    開(kāi)蓋方式

    鉸鏈側(cè)開(kāi)式法蘭

    外形尺寸

    150*500*250 mm

    450*460*370 mm

    530*580*420 mm

    重量

    20 kg

    35 kg

    40 kg

    真空室溫度

    小于65°C

    冷卻方式

    強(qiáng)制風(fēng)冷

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