英??礏-A型皮拉尼電容膜片真空計INFICON BCG450:
INFICON BCG450 大氣壓至高真空三合一真空計
INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼(Pirani)BCG450型電容式膜片真空計將三大不同技術(shù)的優(yōu)勢融合在一個單個、緊湊和經(jīng)濟(jì)的可以測量 5×10-10 到 1500 毫巴(3.75×10-10 到 1125 托)的過程壓力和基準(zhǔn)壓力的工具包里。 BCG450型電容式膜片真空計的設(shè)計旨在替代三個傳感器(熱離子、熱量增強型皮拉尼和真空開關(guān)),從而節(jié)省成本和寶貴的工具空間。
益處:
BCG450 可節(jié)省成本和工具空間,降低真空測量安裝與設(shè)置的復(fù)雜性
10 托以上的壓力測量不受氣體類型限制,能夠?qū)θ魏螝怏w混合物提供更為可靠的加載互鎖控制
皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)熱絲,防止過早燒毀
高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié),減少操作員干預(yù)
大氣壓下的壓差測量消除了大氣壓力變化引起的不確定
易于更換的傳感元件與板載校準(zhǔn)數(shù)據(jù)確保再現(xiàn)性
備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場總線接口
RoHS 合規(guī)
典型應(yīng)用:
半導(dǎo)體過程、傳輸腔室和加載互鎖真空室的壓力測量
工業(yè)鍍膜
低真空和高真空范圍內(nèi)系統(tǒng)的一般真空測量和控制
英??礏-A型皮拉尼電容膜片真空計INFICON BCG450:
INFICON BCG450 大氣壓至高真空三合一真空計
INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼(Pirani)BCG450型電容式膜片真空計將三大不同技術(shù)的優(yōu)勢融合在一個單個、緊湊和經(jīng)濟(jì)的可以測量 5×10-10 到 1500 毫巴(3.75×10-10 到 1125 托)的過程壓力和基準(zhǔn)壓力的工具包里。 BCG450型電容式膜片真空計的設(shè)計旨在替代三個傳感器(熱離子、熱量增強型皮拉尼和真空開關(guān)),從而節(jié)省成本和寶貴的工具空間。
益處:
BCG450 可節(jié)省成本和工具空間,降低真空測量安裝與設(shè)置的復(fù)雜性
10 托以上的壓力測量不受氣體類型限制,能夠?qū)θ魏螝怏w混合物提供更為可靠的加載互鎖控制
皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)熱絲,防止過早燒毀
高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié),減少操作員干預(yù)
大氣壓下的壓差測量消除了大氣壓力變化引起的不確定
易于更換的傳感元件與板載校準(zhǔn)數(shù)據(jù)確保再現(xiàn)性
備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場總線接口
RoHS 合規(guī)
典型應(yīng)用:
半導(dǎo)體過程、傳輸腔室和加載互鎖真空室的壓力測量
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低真空和高真空范圍內(nèi)系統(tǒng)的一般真空測量和控制
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