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RHESCA薄膜附著強(qiáng)度測(cè)試儀CSR-2000

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RHESCA薄膜附著強(qiáng)度測(cè)試儀CSR-2000

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2019-03-17 09:30:13

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    RHESCA薄膜附著強(qiáng)度測(cè)試儀CSR-2000簡(jiǎn)單介紹 基于JIS R-3255標(biāo)準(zhǔn),以MICRO SCRATCH法評(píng)價(jià)光學(xué)薄膜、半導(dǎo)體擴(kuò)散工程、表面改質(zhì)以及記憶媒體等各種用途的薄膜與基材,或薄膜與界面之間的密著力(附著強(qiáng)度)的薄膜附著強(qiáng)度測(cè)試儀。為成膜研究與測(cè)試所的測(cè)試設(shè)備。
    RHESCA薄膜附著強(qiáng)度測(cè)試儀CSR-2000

    RHESCA薄膜附著強(qiáng)度測(cè)試儀CSR-2000簡(jiǎn)單介紹 
    基于JIS R-3255標(biāo)準(zhǔn),以MICRO SCRATCH法評(píng)價(jià)光學(xué)薄膜、半導(dǎo)體擴(kuò)散工程、表面改質(zhì)以及記憶媒體等各種用途的薄膜與基材,或薄膜與界面之間的密著力(附著強(qiáng)度)的薄膜附著強(qiáng)度測(cè)試儀。為成膜研究與測(cè)試所的測(cè)試設(shè)備。


    RHESCA薄膜附著強(qiáng)度測(cè)試儀CSR-2000的詳細(xì)介紹 
    CSR-2000基于JIS R-3255標(biāo)準(zhǔn),以MICRO SCRATCH法評(píng)價(jià)光學(xué)薄膜、半導(dǎo)體擴(kuò)散工程、表面改質(zhì)以及記憶媒體等各種用途的薄膜與基材,或薄膜與界面之間的密著力(附著強(qiáng)度)的薄膜附著強(qiáng)度測(cè)試儀。

    薄膜附著強(qiáng)度測(cè)試儀的概要
    薄膜附著強(qiáng)度測(cè)試:原子化(分子化)的膜材料到達(dá)基材表面成型時(shí),與基材表面的原子的結(jié)合數(shù)會(huì)直接影響到膜的密著強(qiáng)度。這個(gè)結(jié)合數(shù),受分子的能量狀態(tài)、基板的清洗狀態(tài)等的影響。在與成膜有關(guān)的研究開(kāi)發(fā)機(jī)工程管理中,可使用本設(shè)備進(jìn)行密著強(qiáng)度的評(píng)價(jià)。
    以往的劃痕測(cè)試儀,摩擦膜表面造成破壞點(diǎn)時(shí),依靠摩擦力的變化及音響信號(hào)等來(lái)評(píng)價(jià)密著強(qiáng)度。但是,膜厚在微米級(jí)以下的薄膜的破壞點(diǎn)很難檢測(cè)出來(lái)。為解決這個(gè)問(wèn)題,CSR-2000采用高感度的能夠檢測(cè)出薄膜破壞的MICRO SCRATCH法,測(cè)試納米級(jí)別的薄膜的附著強(qiáng)度。適合評(píng)價(jià)液晶顯示屏的透明電極膜、光學(xué)薄膜、DLC、磁盤的保護(hù)膜等的附著強(qiáng)度。

    RHESCA薄膜附著強(qiáng)度測(cè)試儀CSR-2000的特點(diǎn)

    具有直線增加荷重的控制功能,在鏡頭等的曲面上也能做測(cè)試 

    可以進(jìn)行以特定荷重來(lái)評(píng)價(jià)的特定負(fù)荷測(cè)試 

    基于信號(hào)的FFT分析功能,高感度進(jìn)行剝離檢測(cè) 

    測(cè)試部位的設(shè)定以及測(cè)試后的劃傷觀察等簡(jiǎn)單易行 

    測(cè)試不需要花費(fèi)很多時(shí)間(1次測(cè)試約1~2分鐘) 

    與小型硬度計(jì)等薄膜物性測(cè)試儀相比,能夠在普通的操作臺(tái)上測(cè)試 

    能進(jìn)行JIS R-3255標(biāo)準(zhǔn)(以剝離為基板的薄膜附著性測(cè)試方法)的測(cè)試 


    RHESCA薄膜附著強(qiáng)度測(cè)試儀CSR-2000的相關(guān)參數(shù)
    荷重檢出裝置
    荷重印加范圍 1mN/1000mN
    荷重分辨率 0.2mN
    允許過(guò)負(fù)荷 300%FS
    摩擦力檢出裝置
    速度倍號(hào)輸出 1mV
    頻率量程 20H 卜 10kHz
    勵(lì)振頻率 45Hz
    勵(lì)振振幅 0-5-10-20-40-50-80-100 jum
    觸針材質(zhì) 金剛石
    觸針形狀_ R5-10-15-25-50-100jL/m
    Z軸驅(qū)動(dòng)裝置 ※荷重印加方向
    驅(qū)動(dòng)分辨率 0.5 u m
    驅(qū)動(dòng)速度 0.1-10 u m/sec
    X軸驅(qū)動(dòng)裝置 ※Scratch方向
    驅(qū)動(dòng)范圍 20mm
    驅(qū)動(dòng)分辨率 0.5 u m
    驅(qū)動(dòng)速度 0.20u m/sec
    丫軸驅(qū)動(dòng)裝置
    驅(qū)動(dòng)范圍 ±6.5mm
    數(shù)據(jù)輸出方式 USB
    尺寸及重量 W350 x D370 x H450 (26kg)
    電源 AC100-240V


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