寶雞傳感器研究所是我國zuizao的擴散硅壓力傳感器*化研究所。所以文中所敘的壓力傳感器都是特指擴散硅壓力傳感器，為了方便敘述統(tǒng)稱為壓力傳感器。 關(guān)于壓力芯一段不得不說的歷史寶雞傳感器研究所http://bjti.testmart.cn/

用于CYG01芯片封裝的不銹鋼壓力殼體

生產(chǎn)于八十年代初的CYG01壓力傳感器

一九八八年，仲勛委員長在我單位考察指導(dǎo)工作。

二.面臨挑戰(zhàn)

八十年代末期，我們的一位所長還在美國的一家有名的壓力傳感器企業(yè)“考察”過，說是考察實際上是利用在這家企業(yè)供職的某華人二代關(guān)系，掏了若干美刀利用下班時間和機會在人家的生產(chǎn)線上匆匆的走了一圈。畢竟內(nèi)行看門道，他回來就召集我們宣布說國外的生產(chǎn)流程和我們基本相同，只是效率可能有所差距，例如我們的磨杯機是單頭的一次只能磨一片，而人家的是多頭的，一次可以磨很多片。至于差距我們可能在材料和工藝精度控制及凈化程度上有所落后。例如他看到人家的多頭磨杯機可能與電腦相連接。由于只能是透窗觀望，具體細節(jié)無法了解。

然而好景不長，僅僅過了有兩年多時間，各種信息都明確的告訴我們大的挑戰(zhàn)來了，國外生產(chǎn)出了晶圓片，而且被*的用于壓力傳感器的制作。

這種用于壓力傳感器生產(chǎn)的晶圓每個單元晶片面積僅2mm見方，每一個大片上約上百個單元芯片。而我們的壓力芯片是一個一個生產(chǎn)出來的，無論從生產(chǎn)效率和生產(chǎn)工藝及凈化控制都和晶圓的生產(chǎn)方式無法相比，且由晶圓芯片所封裝的壓力芯體方便實用，國產(chǎn)化生存受到嚴重威脅。

三.一次悲壯的突圍經(jīng)歷

晶圓生產(chǎn)我們所面臨的*個難題就是缺少能夠滿足需要的光刻機。當(dāng)時我們用是的上海生產(chǎn)的國產(chǎn)化光刻機，遠遠不能滿足晶圓生產(chǎn)的需要。

經(jīng)多方申請后，*在“八五”計劃中劃撥出若干資金用于購買相關(guān)設(shè)備。這不是一次簡單的購買過程，由于光刻機嚴禁對華出售所以*花了很大的精力終于購回了一臺能夠滿足需要的光刻機。遺憾的是由于當(dāng)時的客觀原因，只能通過一定的渠道秘密購回散件自行組裝，為了這臺光刻機應(yīng)該是很多部門都付出了很大的努力，有些情況我不可能了解也不便了解，也正是這樣的原因致使這臺悄然來去的光刻機連一張照片都沒有留下。

光刻機為半自動化電腦控制的雙面光刻機，沒有任何能夠表明身份的銘牌及標(biāo)識。我只是在連接顯微鏡的光纖上發(fā)現(xiàn)了清晰的日文字樣。

遺憾的是這臺光刻機因為機械臂行程重復(fù)性差異過大無法正常工作，平?jīng)鰡挝皇冀K無法解決，經(jīng)多方申請，直到半年之后，一位來自某大學(xué)的女研究生來到這里，經(jīng)反驗證后得出結(jié)論：設(shè)備軟件和原裝產(chǎn)品無異，國外原裝產(chǎn)品沒有類似問題出現(xiàn)，問題肯定是出在裝配環(huán)節(jié)上。光刻機計劃流產(chǎn)，雙方單位的巨大付出都因此而付諸東流。我曾有一篇文章專門對這一經(jīng)歷作過詳細的描述。（https://bjti104.b2b168.com/shop/news/15773345.html）這里不作贅言。

四.關(guān)于合資

首先由于光刻機的原因，國產(chǎn)化晶圓顯然短期內(nèi)無法完成，當(dāng)時“造不如買”的意識盛行。隨著改革開放的步伐逐漸加大，國內(nèi)精細化控制的要求越來越廣泛，對于我國來說切實可行的辦法無疑是從國外購進高質(zhì)量芯片進行封裝。實際上我國*早的壓力傳感器合資公司的實質(zhì)就是這樣。

合資方是美國的一家公司。時值中美關(guān)系正處于改開之后的蜜月期，*不但大力支持且有一定的優(yōu)惠政策，雙方一拍即合。籌建工作也緊鑼密鼓的進行著。于是擴散硅壓力傳感器的企業(yè)*克傳感器有限公司就這樣誕生了。

合資公司對于當(dāng)時的國人來說還是比較新奇事物。傳說工資比較高。但要累死人。資本主義管理方式。當(dāng)時*鼓勵合資企業(yè)，在各個方面都有政策性的優(yōu)惠和支持，所以進展很順利。

在抽調(diào)人選時部門的很多年青人都躍躍欲試。但研究所幾乎沒有一個人被抽調(diào)，當(dāng)時有一個盛行的說法是研究所要并入合資公司。有技術(shù)積淀的研究所被并入似乎也是順理成章的事。更能佐證這個說法的是我們所的*姓所長----一個純技術(shù)人員竟列席為*克公司的董事行列。這讓很多年青人都感到興奮，摩拳擦掌的等待水到渠成的結(jié)果。

但后來事態(tài)的發(fā)展遠遠出了設(shè)想范圍。研究所不但沒有并入且*所長的董事位置也被拿下了。

據(jù)知情人透漏。問題就是出在理念差異上。當(dāng)時*克公司成立初期就決定要從國外購進高質(zhì)量壓力芯片生產(chǎn)芯體。單位為打造購買渠道也付出了很大的努力。但作為純技術(shù)出身的*所長充分發(fā)揮文人意氣，不顧全場的反對，竭力主張生產(chǎn)壓力芯片，且拿出舌戰(zhàn)群雄的氣概執(zhí)拗到底，*終被體面的掃地出門---從此不再收到過董事會議的邀請通知。

當(dāng)時所里很多年青人為此而憤憤不平，暗自說*姓所長是名符其實的攪事棍子，成事不足敗事有余，*的砸了所里的美好前程。后來所里依然有很多的年青人以各種方式進入*克公司并成為該公司的中堅力量。若干年后和當(dāng)時的同事冷靜的回想當(dāng)年，所謂的對錯之分根本不存在。站在*所長的角度自然也有他的道理， 于公來說我們這個所以前工序見長，不作芯片我們的優(yōu)勢根體無法發(fā)揮。于私來說，所長*大學(xué)的辦導(dǎo)體*出身，且大半生都投身于壓力芯片制作，如果單純的搞來料封裝又何來他的用武之地呢？

事實證明，作為一個企業(yè)*克所選擇的道路是正確的，迄今為止，*克傳感器有限公司年產(chǎn)值已高達約三億元左右。穩(wěn)坐擴散硅壓力傳感器企業(yè)*的位置。該公司利用美國和德國生產(chǎn)的高質(zhì)量壓力芯片封裝生產(chǎn)的M*M系列壓力芯體以其良好的質(zhì)量成為高質(zhì)量國產(chǎn)化壓力芯體的代表。

在無法成為巨人時，那就站在巨人的身上來拔高自己也不失是一種好辦法。

我們再來說國產(chǎn)化芯片發(fā)展問題，這是整個*的問題，肯定不是一個公司所要考慮的，或者說能考慮的。*在“八五”“九五”之后這方面幾乎沒有作任何的布局和投入，光刻機事件成為失敗的收官之作，九十年代初投入百萬元之巨以完全失敗而告終，這種風(fēng)險作為一家自負盈虧的公司是無法承擔(dān)的，也根本承擔(dān)不起。

五.一脈留存

九十年代末期，壓力芯體產(chǎn)業(yè)逐漸形成規(guī)模，得到市場的充分認可，我們那條看似很土的國產(chǎn)化生產(chǎn)線終于退出了歷史的舞臺。

在得到我們要處理設(shè)備的消息后，長期合作的某高校辦導(dǎo)體*的一位的教授找到了我們，想購買一些設(shè)備作為校辦工廠供學(xué)生實使用，也可以適當(dāng)?shù)臑槲覀兺镀M行生產(chǎn)，就這樣CYG30和CYG15芯片的生產(chǎn)得以延續(xù)。后來由于政策原因校辦工廠被取締，只好有些工序委托加工，之這條生產(chǎn)線存活的相當(dāng)不易。就這樣的一脈存留為我們高頻動態(tài)類壓力傳感器生產(chǎn)提供了良好的保障，使我們的這一產(chǎn)品市場沒有丟失。

CYG30和CYG15是我們70年代初自行研發(fā)的壓力傳感器芯片，石英玻璃環(huán)封接，可用于高頻動態(tài)壓力傳感器的生產(chǎn)。高頻動態(tài)壓力傳感器廣泛的應(yīng)用于爆炸測試及模擬水工實驗等工況。國外類似產(chǎn)品價格約7000-20000元，國產(chǎn)化產(chǎn)品僅為國外產(chǎn)品價格的1/4 -1/3

八十年代初，使用國產(chǎn)化CYG30芯片生產(chǎn)的CYG146型高頻動態(tài)壓力傳感器

六．國產(chǎn)化壓力傳感器基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)土崩瓦解的原因分析

繼九十年代中期我們的國產(chǎn)化線下馬以后，再也沒有純國產(chǎn)化生產(chǎn)線的消息。近年來才有消息說東北某所還有一條自產(chǎn)芯片的生產(chǎn)線，至于進口設(shè)備的參與程度不得而知。仔細分析這也是一個必然的結(jié)果。究其原因有以下幾點：

*.隨著改革開放的逐漸深入，我們原有的壟斷被打破，產(chǎn)品的劣勢盡顯。當(dāng)年我們生產(chǎn)用的去粒子水的成本高于牛奶，強大的壟斷市場及高額利潤遠遠能夠保證企業(yè)的運行。但這樣的產(chǎn)品顯然缺乏任何的市場競爭能力。

第二．生產(chǎn)工藝水平及產(chǎn)品落后，不符合現(xiàn)代化生產(chǎn)的要求，晶圓生產(chǎn)工藝無法突破，生產(chǎn)效率低下，質(zhì)量無法得到保證。當(dāng)時國外*壓傳公司已逐漸向凈化無人車間邁進。例如瑞士的keller。半導(dǎo)體行業(yè)的凈化程度對產(chǎn)品質(zhì)量的影響不言而喻，芯片質(zhì)量的差距可想而知。

第三．產(chǎn)品操作復(fù)雜，不利于規(guī)模化生產(chǎn)。

當(dāng)時的成品國產(chǎn)芯片組裝成一只合格的壓力傳感器在我們這里稱作裝配工序。裝配工序的學(xué)徒期為三年，所以說要培養(yǎng)一位合格的裝配工*起碼要兩年至三年時間。我是有過這樣的學(xué)徒經(jīng)歷的。首先對于毫無烙鐵焊接基礎(chǔ)的人來說，把導(dǎo)電金絲和線路板焊接起來就是需要長期練的一項技能。芯片上用于導(dǎo)電的金絲直徑僅0.08毫米，和人的頭發(fā)直徑基本相當(dāng)，金絲和焊錫在高溫下會形成金錫合金，焊接時間長了金絲會熔斷，焊接時間短了會形成虛焊。然而高度集成的壓力芯體將芯片集成到芯體里，不銹鋼隔離膜片*的將壓力介質(zhì)和芯片*隔離，介質(zhì)的適應(yīng)性更廣。普通導(dǎo)線出線方式方便連接，完全可以作到三月之內(nèi)就能培養(yǎng)出一位合格的裝配工。生產(chǎn)效率方面有著有天壤之別，能夠有效的降低生產(chǎn)成本。

金絲焊接點實物圖

方便實用的壓力傳感器芯體

七.高質(zhì)量國產(chǎn)化芯片缺失的影響

*.核心技術(shù)完全依賴進口的產(chǎn)業(yè)經(jīng)不起任何的制裁

曾有一篇儀表*化平臺刊出一篇文章指出，壓力傳感器生產(chǎn)企業(yè)所用的芯片95%來自于國外進口。換句話說如果國外對我們的壓力芯片進行制裁的話國內(nèi)95%的相關(guān)企業(yè)都要倒閉。華為就是個典型的例子。不光是壓力芯片，簡稱IC的高質(zhì)量集成放大線路價格杠桿也牢牢的把握在在他人的手中。例如我們用到的一款車規(guī)級放大IC，22年七月分報價為二十多元，23年的2月份供應(yīng)商的報價不約而同的漲到了近二百元，漲幅達七至八倍，原因是受到了出口限制。

二．缺乏高端市場競爭力，本土企業(yè)形成激烈的惡性競爭。

芯體的普及使用是原本復(fù)雜的工藝簡單化，大大的降低了進入這一行業(yè)的門檻高度，壓力傳感器生產(chǎn)企業(yè)的數(shù)量呈井噴式的遞增。據(jù)不完全統(tǒng)計國內(nèi)壓力傳感器生產(chǎn)企業(yè)近二千家。然而不難發(fā)現(xiàn)，這些企業(yè)的產(chǎn)品大多屬于中低端產(chǎn)品。供大于求的市場使得產(chǎn)品價格沒有*低只有更低。而高端產(chǎn)品市場基本上被國外企業(yè)有條不紊的瓜分。如日本的橫河EJA以其良好的表現(xiàn)牢牢的控制了工業(yè)現(xiàn)場需求，美國的 Rosemount優(yōu)良的抗電磁干擾能力使其在電力行業(yè)獨領(lǐng)風(fēng)騷若干年………不但瓜分，且瓜分的很有水準(zhǔn)，很大程度的避免了競爭而保證利潤的*化。而縱觀國產(chǎn)化市場，本土企業(yè)在中低端市場爭的頭破血流，這幾年更是有愈演愈烈之勢。價格更是沒有*低，只有更低！為了爭奪市場而突破了價格底限的產(chǎn)品何言質(zhì)量保障？

三．國產(chǎn)化進程舉步維艱

我國軍工方面所需的高品質(zhì)壓力傳感器進口比例極高。一方面我們的國產(chǎn)化壓力傳感器和國際*水平有一定的差距，無法滿足軍事工業(yè)高精尖的要求，還有一個重要的方面是受到了“造不如買”的思潮導(dǎo)引。然而對于舒舒服服購買了幾十年的我們談何容易。代表壓力傳感器核心技術(shù)的壓力芯片我們都沒有實現(xiàn)國產(chǎn)化，如何替代？更談不上越。曾經(jīng)有一些企業(yè)也生產(chǎn)出了壓力晶圓，但其質(zhì)量與性能和國外同類產(chǎn)品相比還是有很大差距，僅能用于低端產(chǎn)品。一方面是國產(chǎn)化的迫切需求，一方面是我們面對現(xiàn)實的無奈嘆息。我們注定要為自己所走的取巧捷徑而買單。

八．芯痛，心痛！

現(xiàn)實告訴我們，靠誰都不如靠已。例如制造出全世界*水平光刻機的瑞士ASML，所代表的并不是瑞士的科技水平，而是世界*水平的集成。這里有美國的技術(shù)，有德國的技術(shù)……但復(fù)雜的國際環(huán)境決定我們?nèi)舾赡陜?nèi)都不可能融入這個圈子，更需要獨立的精神。更需要“那怕雄關(guān)真如鐵，不懼邁步從頭越”的勇氣。從九十年代至今已經(jīng)發(fā)展了近三十年，壓力芯片制造技術(shù)不再是一個難以突破的技術(shù)，它不該像一個不被待見的棄兒一樣無人問津。

前輩們都年已古稀，我于九十年代初進入這個方興未艾的行業(yè)，那時的我風(fēng)華正茂，打算用一生去陪伴著我們的壓力“芯”而成長，如今我已兩鬢染霜。

業(yè)未竟，鬢已秋，何忍夙愿付諸東流！

拍攝于一九九二年

壓力傳感器呼喚完全屬于人的“芯”。

擴散硅壓力傳感器*所，所以眼界窄水平低，如有謬誤之處，還望各位同行多多包諒！