VPG⁺800 / VPG⁺1100 / VPG⁺1400

大尺寸高速圖形發(fā)生器

Large–Area Volume Pattern Generators

光學(xué)系統(tǒng)上的創(chuàng)新與突破-平行化曝光制程技術(shù)制版系統(tǒng)

VPG +大尺寸曝光系統(tǒng)適合用于*封裝，半導(dǎo)體，顯示器，彩色濾光片，LED和觸摸屏等相關(guān)掩膜版制作的應(yīng)用。

VPG +系統(tǒng)支持所有工業(yè)等級(jí)數(shù)據(jù)化格式，并提供Mura優(yōu)化功能，呈現(xiàn)*的CD均勻性和分辨率。
VPG + 1400是我們*的系統(tǒng)，特別針對(duì)顯示器領(lǐng)域和FPD的應(yīng)用，例如TFT數(shù)組和彩色濾光片以及ITO。

VPG + 1400具有高精度的設(shè)備架構(gòu)，分辨率低至1.2 nm的差分干涉儀及*的Mura校正功能。

關(guān)于我們 - Stella International

Stella International攜手光刻技術(shù)領(lǐng)航者-海德堡儀器公司，共同為客戶帶來(lái)*的綜合應(yīng)用效能，同時(shí)建立緊密的合作伙伴關(guān)系。

為了服務(wù)客戶更廣泛多元的應(yīng)用領(lǐng)域，Stella International于 2016年在蘇州成立海德堡儀器演示中心，以海德堡原廠伙伴技術(shù)支援，提供客戶技術(shù)交流平臺(tái)以及各式前段打樣的基礎(chǔ)研究，

這些年來(lái)已服務(wù)許多的國(guó)內(nèi)大學(xué)，研究所與企業(yè)前期研發(fā)單位。

介紹

德國(guó)海德堡 高精密無(wú)掩膜激光直寫設(shè)備
HEIDELBERG MASKLESS AND LASER LITHOGRAPHY SYSTEM

德國(guó)海德堡設(shè)備(Heidelberg Instruments)，創(chuàng)始于1984年，在激光直寫設(shè)備的發(fā)展和設(shè)計(jì)上，一直是*的。多年以來(lái)，系統(tǒng)設(shè)備持續(xù)地改良、在各種應(yīng)用上客制化。

應(yīng)用范圍包括：微電腦和納米科技, MEMS, 平面屏幕, BGA, ASICS, TFT, Plasma Displays, Micro Optics, 和其他相關(guān)領(lǐng)域。

銷售橫跨歐洲、美國(guó)、亞洲等過(guò)50幾個(gè)*、700個(gè)以上銷售據(jù)點(diǎn)，用于研發(fā)、快速原型制作和工業(yè)生產(chǎn)系統(tǒng)，是企業(yè)研究和發(fā)展的*伙伴。