1. 光學(xué)原理

? 激光干涉法

? 利用激光的相干性。激光源發(fā)出的激光被分為參考光和測量光。測量光照射到被測物體表面，反射后與參考光發(fā)生干涉。如果物體表面是理想平面，干涉條紋是規(guī)則的；如果表面存在不平度，干涉條紋會發(fā)生彎曲、變形等變化。通過分析干涉條紋的形狀、間距和相位變化等，可以計(jì)算出表面的不平度。

? 光反射原理

? 儀器發(fā)出一束平行光（可以是普通光源或激光源）照射到被測表面。當(dāng)表面完全平直時，反射光沿特定方向返回并被接收裝置接收。如果表面有起伏，反射光的方向會發(fā)生改變，接收裝置檢測到反射光的角度、強(qiáng)度等變化，從而確定表面的不平度。例如，在一些基于三角測量原理的光反射式平直度測量儀中，通過測量反射光與入射光之間的角度變化來計(jì)算高度差，進(jìn)而得出表面的平直度。

2. 機(jī)械接觸式原理

? 采用高精度的探頭與被測物體表面接觸。探頭沿著被測表面移動，當(dāng)表面有高低不平之處時，探頭會產(chǎn)生上下位移。通過傳感器（如電感式、電容式或應(yīng)變片式傳感器）將探頭的位移轉(zhuǎn)化為電信號，再經(jīng)過放大、處理等環(huán)節(jié)，*終得到表面的平直度數(shù)據(jù)。這種方式適用于測量相對粗糙表面或者需要較高測量力以確保探頭與表面良好接觸的情況。

1. 高精度

? 能夠測量到微米甚至納米級別的不平度，這對于高精度加工的產(chǎn)品，如航空航天零部件、精密光學(xué)鏡片等非常重要。通過采用高精度的光學(xué)元件、*的傳感器技術(shù)和精密的機(jī)械結(jié)構(gòu)，確保測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。

2. 高分辨率

? 在測量小范圍的不平度變化時，具有高分辨率。例如，在測量電子線路板表面的微小起伏時，可以清晰地分辨出幾微米的高度差，這有助于發(fā)現(xiàn)細(xì)微的表面缺陷，提高產(chǎn)品質(zhì)量。

3. 多種測量模式

? 可以進(jìn)行單點(diǎn)測量、多點(diǎn)測量或連續(xù)掃描測量。單點(diǎn)測量適用于對特定位置的平直度檢測；多點(diǎn)測量可獲取物體表面多個離散點(diǎn)的平直度數(shù)據(jù)，用于分析表面的整體平整度分布；連續(xù)掃描測量則能全面地描繪出物體表面的平直度輪廓，適用于對大面積表面的檢測。

4. 非接觸式測量（部分型號）

? 基于光學(xué)原理的非接觸式測量儀，在測量過程中不會對被測物體表面造成劃傷、磨損或污染。這對于一些軟質(zhì)、易損或高精度的表面，如光學(xué)薄膜、半導(dǎo)體芯片表面等的測量具有很大優(yōu)勢。

5. 實(shí)時測量與數(shù)據(jù)處理

? 能夠在測量過程中實(shí)時顯示測量數(shù)據(jù)，并可進(jìn)行數(shù)據(jù)存儲、分析等操作。一些*的測量儀還可以將測量結(jié)果與預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)值進(jìn)行對比，當(dāng)出公差范圍時自動報(bào)警，方便操作人員及時調(diào)整生產(chǎn)工藝。

? 在鐵路建設(shè)和維護(hù)中，測量鐵軌的平直度，保證列車行駛的平穩(wěn)性和安全性。在汽車制造中，測量車架、車身外殼等部件的平直度，提高汽車的整體質(zhì)量。